鑫巨(深圳)半导体科技有限公司马库斯·郎获国家专利权
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龙图腾网获悉鑫巨(深圳)半导体科技有限公司申请的专利一种组合式物料输送轨道获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222728855U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421557565.5,技术领域涉及:B65G35/00;该实用新型一种组合式物料输送轨道是由马库斯·郎;马丁·施莱;吴国明;黄新国设计研发完成,并于2024-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种组合式物料输送轨道在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体加工设备技术领域,具体涉及一种组合式物料输送轨道,包括x向输送轨道和y向输送轨道,通过在x轴方向上采用多轨输送即沿z轴方向上并列设置有多组x向输送轨道,在y轴方向上采用单轨输送即沿x轴方向上并列设置有多个y向输送轨道,可以在半导体加工过程中实现不同方向,多轨道的输送,使用更加方便,提升整体输送轨道的空间利用率。具体的,在高度方向上设置有多组x向输送轨道,并且每组x向输送轨道可以独立进行输送工作,可以满足不同加工工件在不同加工工位的输送需求,同时并列设置有多个y向输送轨道,可以满足多个加工工件的同时加工作业或在不同加工工位上的输送需求,提升加工效率,还可以提高空间利用率。
本实用新型一种组合式物料输送轨道在权利要求书中公布了:1.一种组合式物料输送轨道,其特征在于,包括x向输送轨道(1)和y向输送轨道(2),用于工件在x、y轴方向上的往复运动;所述x向输送轨道(1)设置有多组且沿z轴方向并列设置,所述y向输送轨道(2)设置有多列且沿x轴方向并列设置。
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