海南航芯高科技产业集团有限责任公司李冠毫获国家专利权
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龙图腾网获悉海南航芯高科技产业集团有限责任公司申请的专利一种用于运送晶圆的真空吸附机械手获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222775296U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421429812.3，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种用于运送晶圆的真空吸附机械手是由李冠毫;严大生;陈绪全;朱益辉;曹起辉;李光设计研发完成，并于2024-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于运送晶圆的真空吸附机械手在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，具体为一种用于运送晶圆的真空吸附机械手，包括基板以及设置在基板内部的真空气道，所述真空气道包括第一气道与第二气道；所述第一气道与第二气道分别采用第一气孔与第二气孔连接外部真空源，进行真空抽气；所述基板设置有分别与所述第一气道和第二气道连通的第一吸孔和第二吸孔；本实用新型中，满足不同型号晶圆薄片的运送需求，增大基板对晶圆整体的真空吸附面积，提升对晶圆操作的吸附稳定性，降低生产加工过程中的破片风险。
本实用新型一种用于运送晶圆的真空吸附机械手在权利要求书中公布了：1.一种用于运送晶圆的真空吸附机械手，包括基板1以及设置在基板1内部的真空气道，其特征在于，所述真空气道包括第一气道3与第二气道4；所述第一气道3与第二气道4分别采用第一气孔7与第二气孔8连接外部真空源，进行真空抽气；所述基板1设置有分别与所述第一气道3和第二气道4连通的第一吸孔5和第二吸孔6；所述基板1包括安装部11与吸附部12；所述吸附部12设有用于拓展安装的功能槽13；所述第一吸孔5和第二吸孔6分布在所述功能槽13的两侧；所述第一气道3包括设置在吸附部12中的第一吸附气段32以及设置在安装部11中的第一抽气气段31；所述第二气道4包括设置在吸附部12中的第二吸附气段42以及设置在安装部11中的第二抽气气段41；所述第二吸附气段42位于第二抽气气段41下方，第二吸附气段42与第二抽气气段41通过下沉气段43连通。
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