安迈特科技(北京)有限公司李建辉获国家专利权
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龙图腾网获悉安迈特科技(北京)有限公司申请的专利冷却装置及真空镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222770946U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421395908.2，技术领域涉及：C23C14/56；该实用新型冷却装置及真空镀膜设备是由李建辉;孙欣森;李永强设计研发完成，并于2024-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本冷却装置及真空镀膜设备在说明书摘要公布了：本公开提供一种冷却装置及真空镀膜设备，所述冷却装置包括：冷却主辊、蒸镀模块以及冷却面板。所述冷却主辊配置为输送基材并为所述基材降温；所述蒸镀模块配置为蒸发靶材以为所述基材镀膜；所述水冷面板设置于所述冷却主辊与所述蒸镀模块之间，所述水冷面板的表面的至少部分下沉形成冷却空间，所述冷却空间用于容纳至少部分的所述冷却主辊，所述水冷面板配置为使所述靶材降温以为所述基材镀膜，其中，所述水冷面板内部设置有冷却循环管路，配置为降低所述水冷面板的表面温度。本公开提供的冷却装置可以有效避免出现基材损坏的现象，有利于减少靶材飞溅，解决了真空镀铜工艺过程中由冷却效果不足导致的热损伤的难题，大幅度提升镀膜速率。
本实用新型冷却装置及真空镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种冷却装置，其特征在于，包括：冷却主辊，配置为输送基材并为所述基材降温；蒸镀模块，配置为蒸发靶材以为所述基材镀膜；水冷面板，设置于所述冷却主辊与所述蒸镀模块之间，所述水冷面板的表面的至少部分下沉形成冷却空间，所述冷却空间用于容纳至少部分的所述冷却主辊，所述水冷面板配置为使所述靶材降温以为所述基材镀膜，其中，所述水冷面板内部设置有冷却循环管路，配置为降低所述水冷面板的表面温度。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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