株洲三一硅能技术有限公司戴威获国家专利权
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龙图腾网获悉株洲三一硅能技术有限公司申请的专利用于边缘钝化的炉体及原子层沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222776540U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421319945.5，技术领域涉及：H10F71/00；该实用新型用于边缘钝化的炉体及原子层沉积设备是由戴威;陶彪;陈晖设计研发完成，并于2024-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于边缘钝化的炉体及原子层沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种用于边缘钝化的炉体及原子层沉积设备，涉及原子层沉积技术领域，用于边缘钝化的炉体包括外炉体组件、内炉体和加热组件，外炉体组件的内部具有炉腔；内炉体设置于炉腔内，内炉体设置有内冷却流道，以及与内冷却流道连通的进液口和出液口；内冷却流道用于对加热后的内炉体进行降温；加热组件设置于内炉体的至少一侧，加热组件用于对内炉体进行加热。通过在内炉体设置内冷却流道，并在内炉体上设置与内冷却流道连通的进液口和出液口，当需要对内炉体进行冷却时，通过进液口向内冷却流道输入工质，利用工质对内炉体进行降温，由于内冷却流道直接设置于内炉体上，可对内炉体进行迅速降温，极大缩短了工艺时间，提升了设备的产量。
本实用新型用于边缘钝化的炉体及原子层沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种用于边缘钝化的炉体，其特征在于，包括：外炉体组件10，所述外炉体组件10的内部具有炉腔；内炉体20，设置于所述炉腔内，所述内炉体20的一端设置有内炉口21，所述内炉体20设置有内冷却流道22，以及与所述内冷却流道22连通的进液口和出液口；所述内冷却流道22用于对加热后的所述内炉体20进行降温；加热组件30，设置于所述内炉体20的至少一侧，所述加热组件30用于对所述内炉体20进行加热。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株洲三一硅能技术有限公司，其通讯地址为：412000 湖南省株洲市石峰区铜塘湾街道清霞路与老工业路交汇处西南侧南1跨厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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