恭喜中国科学院上海技术物理研究所陈熙仁获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国科学院上海技术物理研究所申请的专利一种紫外至远红外宽波段显微光荧光扫描成像实验装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222774490U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421108629.3,技术领域涉及:G01N21/64;该实用新型一种紫外至远红外宽波段显微光荧光扫描成像实验装置是由陈熙仁;邵军设计研发完成,并于2024-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种紫外至远红外宽波段显微光荧光扫描成像实验装置在说明书摘要公布了:本发明公开一种紫外至远红外宽波段显微光荧光扫描成像实验装置,所述装置包括周期调制模块、调制泵浦模块、表面图像探测模块、紫外‑远红外宽波段显微模块、低变温待测样品、扫描成像模块、光探测解调模块以及计算机中控模块。该装置实现紫外至远红外波段的光荧光显微成像功能。空间分辨率可达到亚微米量级。本发明为微区光学性能形貌测试提供了宽表征波段,具有便捷、无损、非接触等优点,特别适用于半导体微纳结构的弱荧光性能成像检测。
本实用新型一种紫外至远红外宽波段显微光荧光扫描成像实验装置在权利要求书中公布了:1.一种紫外至远红外宽波段显微光荧光扫描成像实验装置,所述装置包括周期调制模块、调制泵浦模块、表面图像探测模块、紫外-远红外宽波段显微模块、低变温待测样品、扫描成像模块、光探测解调模块以及计算机中控模块,其特征在于:所述的周期调制模块是具有正弦波或方波输出的函数发生器1,其正弦波或方波频率由计算机中控模块读取;所述的调制泵浦模块包括具有模拟信号调制功能的激光器21和空间滤波器22,激光器21输出光子能量高于待测样品的带隙,其调制信号由函数发生器1输出的周期信号提供;所述的表面图像探测模块包括平行照明光源31、第一可见分光器32、第二可见分光器33和可见相机34,所述第一可见分光器和第二可见分光器的透反比为50:50;所述的紫外-远红外宽波段显微模块包括二向色分光器41和显微物镜42,二向色分光器41反射平行照明光源31波段,同时透射待测样品的光荧光波段,显微物镜42为反射式物镜,工作波段覆盖0.3-20微米;所述的低变温待测样品包括待测样品51、显微低温恒温器52、液氦储存罐53和液氦输液管54,显微低温恒温器具有紫外-红外宽波段光学窗口,工作距离小于显微物镜42工作距离,液氦输液管54连接显微低温恒温器52和液氦储存罐53;所述的扫描成像模块包括多维微位移台61及其对应的多维电机控制器62;所述的光探测解调模块包括光学滤光器71、光电探测器72、前置放大器73和频谱分析仪74,频谱分析仪74频域范围包含函数发生器1输出的周期信号频率;所述的计算机中控模块8控制多维电机控制器62并采集频谱分析仪74频谱中对应函数发生器1输出频率的强度信号,同时监控可见相机34输出的待测样品51表面形貌图像。
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