恭喜青岛晶易新材料科技股份有限公司吕磊获国家专利权
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龙图腾网恭喜青岛晶易新材料科技股份有限公司申请的专利一种导气流装置及化学气相沉积炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222770948U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420964910.0,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型一种导气流装置及化学气相沉积炉是由吕磊;魏立博;李国强设计研发完成,并于2024-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种导气流装置及化学气相沉积炉在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种导气流装置及化学气相沉积炉,包括导流体和与导流体固连的支撑腿,导流体通过支撑腿支撑在化学气相沉积炉的冷却管中,导流体包括用于将进入冷却管的气体进行分流的分流端和导流端,分流端靠近冷却管的进气口设置,导流端与冷却管的内壁之间留有空隙以形成导流通道,本实用新型能够解决现有技术中化学气相沉积炉冷却管的利用率低从而导致气体通道堵塞的技术问题。
本实用新型一种导气流装置及化学气相沉积炉在权利要求书中公布了:1.一种导气流装置,其特征在于,包括导流体和与导流体固连的支撑腿,所述导流体通过支撑腿支撑在化学气相沉积炉的冷却管中,所述导流体包括用于将进入冷却管的气体进行分流的分流端和导流端,所述分流端靠近所述冷却管的进气口设置,所述导流端与所述冷却管的内壁之间留有空隙以形成导流通道。
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