恭喜厦门韫茂科技有限公司杜林昕获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜厦门韫茂科技有限公司申请的专利一种SIC外延自动传片设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222775289U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420573342.1，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种SIC外延自动传片设备是由杜林昕;郭政煌;唐余海;潘成军;姜文清;石从道设计研发完成，并于2024-03-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种SIC外延自动传片设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种SIC外延自动传片设备，涉及半导体加工设备技术领域。包括传片平台，所述传片平台上设置有上料装置、OCR识别装置、第一机械手、第二机械手、加载装置以及下料装置，其中，所述第二机械手适于在加载时将上料装置内的衬底抓取至所述OCR识别装置识别后放置到所述加载装置内，同时能在卸载时将加载装置内的外延片运送至所述下料装置内；所述第一机械手设置于反应腔周侧以在加载时将衬底从所述加载装置抓取至反应腔内，并能在卸载时将加工完毕的外延片从所述反应腔内运送回所述加载装置内。通过本实用新型方案可以使得传片实现自动化。
本实用新型一种SIC外延自动传片设备在权利要求书中公布了：1.一种SIC外延自动传片设备，包括传片平台，所述传片平台适于与反应腔连接，其特征在于，所述传片平台上设置有上料装置、OCR识别装置、第二机械手、加载装置以及下料装置，其中，所述第二机械手适于在加载时将上料装置内的衬底抓取至所述OCR识别装置识别后放置到所述加载装置内，同时能在卸载时将加载装置内的外延片运送至所述下料装置内；所述加载装置上方设置有视觉摄像头，所述视觉摄像头通信连接所述第二机械手以配合第二机械手进行抓取；所述反应腔上设置有第一机械手，所述第一机械手适于将衬底在所述加载装置与所述反应腔之间来回传送。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人厦门韫茂科技有限公司，其通讯地址为：361000 福建省厦门市软件园三期集美大道1300号创新大厦6楼之四十一；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号