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龙图腾网恭喜东华大学申请的专利基于多层复杂网络的时空耦合协同分析系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116911587B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310877444.2，技术领域涉及：G06Q10/0633；该发明授权基于多层复杂网络的时空耦合协同分析系统是由张洁;陈达;吴立辉设计研发完成，并于2023-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于多层复杂网络的时空耦合协同分析系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基于多层复杂网络的时空耦合协同分析系统，包括信息预处理模块、多层复杂网络建模模块和加工区与设备的时空耦合协同分析模块，所述信息预处理模块：用于对物料状态信息、设备状态信息和工艺状态信息的收集和对收集信息进行统一状态信息编码；所述多层复杂网络建模模块：通过分类编码信息抽取节点和关系模型构建半导体制造系统的数据模型；所述加工区与设备的时空耦合协同分析模块：从构建的半导体制造系统数据模型中抽取抽取节点与之相关的关系模型的空间网络特征和时间网络特征并进行协同分析，获得系统各个时期的耦合协同度。考虑了晶圆制造车间分区域加工的特点，为半导体制造系统优化控制的决策提供了协同性的动态参考指标。

本发明授权基于多层复杂网络的时空耦合协同分析系统在权利要求书中公布了：1.一种基于多层复杂网络的时空耦合协同分析系统，其特征在于，包括信息预处理模块、多层复杂网络建模模块和加工区与设备的时空耦合协同分析模块，所述信息预处理模块：用于对物料状态信息、设备状态信息和工艺状态信息的收集和对收集信息进行统一状态信息编码；所述多层复杂网络建模模块：通过分类编码信息抽取节点和关系模型构建半导体制造系统的数据模型；所述加工区与设备的时空耦合协同分析模块：从构建的半导体制造系统数据模型中抽取抽取节点与之相关的关系模型的空间网络特征和时间网络特征并进行协同分析，获得系统各个时期的耦合协同度；所述多层复杂网络建模模块：建立晶圆制造过程中设备层的资源、物料层的设备、零件和工艺层的工序之间的关系，对应定义三种节点分别为，资源节点Vb、设备物料节点VM和活动节点VA，节点属性是存储各网络节点实时加工属性信息，其接受信息预处理模块的各个状态编码信息，并按照设备、工序和物料将节点进行分类并将同一类别的节点布置到同一层次的网络中，从而建立多层次的复杂网络进而刻画物料、设备资源和工序活动之间的多种关系；根据三类节点构建6种关系模型描述层内和层间关系，分别为：活动-活动关系模型，从而描述活动之间的逻辑与时序关系；建立活动-资源关系模型，从而描述之间的对应关系；建立资源-资源关系模型，从而描述资源之间的约束关系；建立物料-物料关系模型，从而描述物料之间的工艺内在联系；建立物料-活动关系模型，从而描述物料和工序活动之间的对应关系，建立物料-资源关系模型，从而建立物料和资源之间的对应关系；所述时空耦合协同分析模块包括系统运行状态特征提取处理单元和时空耦合区域与设备协同分析处理单元，所述系统运行状态特征提取处理单元从多层复杂网络建模模块构建的半导体制造系统数据模型中获得各层网络的空间特征集合XA和时间特征集合XB，从与活动节点相关的关系模型构建的复杂网络抽取时间特征，并存入到XA中，从资源节点相关的关系模型构建的复杂网络抽取空间特征，并存入到XB中，其后，将两种特征集合中的特征进行无量纲处理得到无量纲特征集合rik；所述时空耦合区域与设备协同分析处理单元中设备协同分析处理模块从系统运行状态特征提取处理单元获得无量纲特征集合，而后利用熵权法得到空间网络特征和时间网络特征的熵Hik与熵权ωik，将熵权输入到耦合协同度模型中得到空间属性和时间属性特征的贡献度ui，贡献度ui送入耦合协同模型得到系统的耦合度D和协同度T。

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