买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜长沙韶光芯材科技有限公司;湖南智信微电子科技有限公司申请的专利光掩膜基板抛光磨盘检测修平系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116100468B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211419694.3，技术领域涉及：B24B53/02；该发明授权光掩膜基板抛光磨盘检测修平系统是由李弋舟;李珍;邓辉设计研发完成，并于2022-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本光掩膜基板抛光磨盘检测修平系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光掩膜基板抛光磨盘检测修平系统，包括中心定位套、两个修平主体、定位组件、定位板、反射件和平衡板，所述中心定位套与修平主体之间设置活动缸，所述定位板位于中心定位套的球面槽内部，平衡板与定位板连接，所述修平主体包括修平板、接触板和定位套，所述接触板与定位套活动连接，接触板内部的感应板的位置与平衡板的位置对应，接触板的上端还设置若干接触杆，本发明中的光掩膜基板抛光磨盘检测修平系统可固定于抛光磨盘上，对抛光磨盘自动进行修平操作，并在修平过程中进行平面度检测，保证抛光磨盘的平面度，同时可实现了抛光面与抛光磨盘转轴的垂直定位。

本发明授权光掩膜基板抛光磨盘检测修平系统在权利要求书中公布了：1.光掩膜基板抛光磨盘检测修平系统，其特征在于，包括中心定位套（1）、两个修平主体（2）、定位组件（4）、定位板（5）、反射件（6）和平衡板（8），所述中心定位套（1）与修平主体（2）之间设置活动缸（3），所述平衡板（8）位于修平主体（2）内部；所述中心定位套（1）内部设置球面槽，所述定位板（5）位于所述球面槽内部，定位板（5）的侧面与球面槽活动连接；所述修平主体（2）包括修平板（21）、接触板（22）和定位套（23），所述修平板（21）固定连接于接触板（22）的上方，所述接触板（22）的侧面与定位套（23）的内壁滑动连接，所述定位套（23）的内壁为圆弧面；所述平衡板（8）位于所述接触板（22）的下方，接触板（22）的内部设置感应板（24），感应板（24）的位置与平衡板（8）的位置对应，平衡板（8）的底部通过调整缸（25）与修平主体（2）连接，接触板（22）的上端设置若干接触杆（7），所述接触杆（7）的接触端（71）指向为上；所述定位板（5）固定连接第一延伸杆（51），所述平衡板（8）固定连接第二延伸杆（81），所述第一延伸杆（51）包括与定位板（5）平行的横向杆部和与第二延伸杆（81）平行的纵向杆部，所述第二延伸杆（81）的下端与所述第一延伸杆（51）的横向杆部滑动连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人长沙韶光芯材科技有限公司;湖南智信微电子科技有限公司，其通讯地址为：410129 湖南省长沙市芙蓉区长榔路88号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。