恭喜深圳市汇芯通信技术有限公司樊永辉获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市汇芯通信技术有限公司申请的专利一种MEMS单片集成电路及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115259073B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210777357.5，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权一种MEMS单片集成电路及其制备方法是由樊永辉;刘国梁;张汪根;吴先民;许明伟;樊晓兵设计研发完成，并于2022-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS单片集成电路及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种MEMS单片集成电路及其制备方法，该方法包括：准备衬底，在所述衬底上形成金刚石层；在所述金刚石层上形成氮化铝层；在所述氮化铝层上制作MEMS器件和匹配电路；制作所述匹配电路内部的第一互联结构，以及所述MEMS器件与所述匹配电路之间的第二互联结构。本申请在衬底上形成金刚石层，使用氮化铝作为压电材料，形成MEMS集成器件，实现了提升MEMS器件的工作频率和带宽的技术效果。
本发明授权一种MEMS单片集成电路及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS单片集成电路的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：准备衬底，在所述衬底上形成金刚石层；在所述金刚石层上形成氮化铝层；对所述氮化铝层进行刻蚀，设置MEMS器件和匹配电路之间的隔离带；在所述氮化铝层上制作MEMS器件和匹配电路，所述匹配电路包括电感、电容和电阻；制作所述匹配电路内部的第一互联结构，以及所述MEMS器件与所述匹配电路之间的第二互联结构，所述第一互联结构为所述电感、电容和电阻中任意两项之间的金属互联，所述第二互联结构为所述MEMS器件与所述电感之间的金属互联、所述MEMS器件与所述电容之间的金属互联和或所述MEMS器件与所述电阻之间的金属互联。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市汇芯通信技术有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市福田区华富街道莲花一村社区皇岗路5001号深业上城(南区)T2栋2701；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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