恭喜上海华力集成电路制造有限公司钱睿获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜上海华力集成电路制造有限公司申请的专利表征自对准成像工艺套刻误差量测准确性的testkey及应用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114859670B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210395940.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权表征自对准成像工艺套刻误差量测准确性的testkey及应用方法是由钱睿;赖璐璐;张聪设计研发完成，并于2022-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本表征自对准成像工艺套刻误差量测准确性的testkey及应用方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种表征自对准成像工艺套刻误差量测准确性的testkey及应用方法，横向以及与横向垂直的纵向；切割层图形和心轴图形组成的两层数据；其中心轴图形由中心图形和两侧图形组成；中心图形由多个沿横向间隔分布的多边形组成；切割层图形由多个沿纵向间隔分布的多边形组成，并且切割层图形叠放在中心图形上；两侧图形位于中心图形的两侧；中心图形由多个沿横向X间隔分布的多边形组成。本发明通过testkey的设计使SADP切割层刻蚀后产生印记，同时保持testkey的刻蚀行为与中心图形一致；通过testkey的量测直接对切割层的套刻误差进行量测；可以通过testkey的量测结果对套刻误差间接量测方法的准确性进行表征。
本发明授权表征自对准成像工艺套刻误差量测准确性的testkey及应用方法在权利要求书中公布了：1.表征自对准成像工艺套刻误差量测准确性的testkey，其特征在于，至少包括：横向X以及与所述横向X垂直的纵向Y；切割层图形和心轴图形组成的两层数据；其中所述心轴图形由中心图形和两侧图形组成；所述中心图形由多个沿所述横向X间隔分布的多边形组成；所述切割层图形由多个沿所述纵向Y间隔分布的多边形组成，并且所述切割层图形叠放在所述中心图形上；所述两侧图形位于所述中心图形的两侧；所述两侧图形由多个沿所述纵向Y间隔分布的多边形组成。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海华力集成电路制造有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号