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龙图腾网恭喜未来宝株式会社申请的专利配备使用过的内部捕获塔的自我再生功能的反应副产物捕获装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116262969B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210238025.X，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权配备使用过的内部捕获塔的自我再生功能的反应副产物捕获装置是由赵宰孝;黄仁文;金仁焕;李俊旼设计研发完成，并于2022-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本配备使用过的内部捕获塔的自我再生功能的反应副产物捕获装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种配备使用过的内部捕获塔的自我再生功能的反应副产物捕获装置，作为安装在半导体制造工程中的制程腔体与真空泵或真空泵与洗涤器之间，为了对在沉积工程之后排出的排放气体中所包含的反应副产物进行捕获之后排出，包括用于对流入到外壳1内部的排放气体进行加热的加热器2以及用于对流入到外壳内部的排放气体中的反应物产物进行捕获的内部捕获塔3的反应副产物捕获装置，包括：再生加热器4，安装在内部捕获塔3中并通过加热反应对反应副产物进行去除；从而确保内部捕获塔3内外部空间并借此实现额外的捕获反应。

本发明授权配备使用过的内部捕获塔的自我再生功能的反应副产物捕获装置在权利要求书中公布了：1.一种配备使用过的内部捕获塔的自我再生功能的反应副产物捕获装置，其特征在于：作为安装在半导体制造工程中的制程腔体与真空泵或真空泵与洗涤器之间，为了对在沉积工程之后排出的排放气体中所包含的反应副产物进行捕获之后排出，包括用于对流入到外壳1内部的排放气体进行加热的加热器2以及用于对流入到外壳内部的排放气体中的反应物产物进行捕获的内部捕获塔3的反应副产物捕获装置，包括：再生加热器4，安装在内部捕获塔3中并通过加热反应对反应副产物进行去除；从而确保内部捕获塔3内外部空间并借此实现额外的捕获反应，所述反应副产物捕获装置作为用于对在制程腔体内利用TiCl4、NH3气体执行TiN沉积工程时产生的排放气体中所包含的反应副产物进行捕获的捕获装置，通过利用加热器2将外壳内部空间加热至120℃以下的温度范围并利用内部捕获塔3对排放气体中的反应副产物进行捕获，接下来通过在捕获反应结束之后将再生加热器4加热至400℃以上而对内部捕获塔3内外部的反应副产物进行去除的再生运行，确保额外的捕获反应空间。

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