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恭喜湖南大学梁世维获国家专利权

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龙图腾网恭喜湖南大学申请的专利一种高抗辐射能力SiC MOSFET器件结构及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114388621B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210059843.3,技术领域涉及:H10D30/66;该发明授权一种高抗辐射能力SiC MOSFET器件结构及制备方法是由梁世维;王俊;杨余;俞恒裕;陈炳如;张锦奕设计研发完成,并于2022-01-19向国家知识产权局提交的专利申请。

一种高抗辐射能力SiC MOSFET器件结构及制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于半导体技术领域,具体涉及一种高抗辐射能力SiCMOSFET器件新结构,所述新型平面栅SiCMOSFET器件的元胞结构包括:漏极金属电极、N+型衬底和N‑漂移区;N‑漂移区3顶部设载流子存储层和P‑base区,载流子存储层一4中设P型阻挡区6和P+区8,载流子存储层二41位于P型阻挡区6与P+区8之间;P‑base区5内设N+区7和P+区8,N+区7和P+区8与源极金属电极11相连。本发明提高了SiCMOSFET器件的抗总剂量辐射γ射线等和抗单粒子辐射能力,可应用在航空航天等空间极端环境中。

本发明授权一种高抗辐射能力SiC MOSFET器件结构及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种高抗辐射能力SiCMOSFET器件结构,其特征在于,平面栅SiCMOSFET器件的元胞结构包括:漏极金属电极1、N+型衬底2和N-漂移区3;所述N-漂移区3的顶部设有载流子存储层和P-base区5,其中,所述载流子存储层由载流子存储层一4以及载流子存储层二41构成,所述载流子存储层一4中设有P型阻挡区6和P+区8,所述载流子存储层二41位于P型阻挡区6与P+区8之间;所述P-base区5内设有N+区7和P+区8,所述N+区7和P+区8与源极金属电极11相连;所述N-漂移区3与源极金属电极11之间设有栅极结构,所述栅极结构包括多晶硅栅极9与栅极氧化物10,所述栅极氧化物10位于所述多晶硅栅极9与源极金属电极11、P-base区5、N+区7、P+区8、载流子存储层一4以及P型阻挡区6之间;所述P型阻挡区6位于载流子存储层一4中且紧靠P-base区5下方,所述载流子存储层二41位于P型阻挡区6和JFET区中的P+区8之间靠近JFET区的位置;所述载流子存储层一4和载流子存储层二41均为掺杂浓度不同的N型掺杂,所述载流子存储层二41的掺杂浓度高于载流子存储层一4,所述载流子存储层二41上方P+区8的掺杂浓度高于其下方的P型阻挡区6的掺杂浓度;所述JFET区中的P+区8的上方有金属层且为欧姆接触,与源极金属相连。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人湖南大学,其通讯地址为:410006 湖南省长沙市岳麓区麓山南路2号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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