恭喜成都通量科技有限公司迟旭获国家专利权
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龙图腾网恭喜成都通量科技有限公司申请的专利一种FinFET器件阈值电压模型构建方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114266169B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111628303.4,技术领域涉及:G06F30/20;该发明授权一种FinFET器件阈值电压模型构建方法是由迟旭;唐攀;易凯;李晨设计研发完成,并于2021-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种FinFET器件阈值电压模型构建方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种FinFET器件阈值电压模型构建方法,涉及半导体集成电路技术领域,包括:建立闪烁噪声、跨导‑沟道温度映射模型;通过闪烁噪声、跨导‑沟道温度映射模型,求解不同偏置电压下FinFET器件的沟道温度;通过插值法得到偏置电压‑沟道温度关系模型;建立FinFET器件阈值电压模型。本发明建立了偏置电压‑沟道温度关系模型,其与温度‑阈值电压方程的结合,精确描述了偏置电压因改变了沟道温度而对阈值电压的影响,解决了FinFET器件的阈值电压测算精度的问题。本发明不局限于晶体管尺寸,适用面广,可移植性好。
本发明授权一种FinFET器件阈值电压模型构建方法在权利要求书中公布了:1.一种FinFET器件阈值电压模型构建方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、测量并获取施加了偏置电压的FinFET器件的闪烁噪声功率谱密度、跨导和沟道温度,并通过牛顿迭代法,求解晶体管闪烁噪声方程组,得到闪烁噪声、跨导-沟道温度映射模型;S2、向FinFET器件施加不同的偏置电压,测量并获取每个偏置电压下FinFET器件的闪烁噪声功率谱密度和跨导,并通过闪烁噪声、跨导-沟道温度映射模型,求解每个偏置电压下FinFET器件的沟道温度;S3、根据步骤S2所述的各个偏置电压下FinFET器件的沟道温度,通过插值法得到偏置电压-沟道温度关系模型;S4、根据偏置电压-沟道温度关系模型和温度-阈值电压方程,建立FinFET器件阈值电压模型。
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