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龙图腾网恭喜西北工业大学申请的专利一种高加工容错率的多环谐振式MEMS陀螺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115060245B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111605690.X，技术领域涉及：G01C19/5656；该发明授权一种高加工容错率的多环谐振式MEMS陀螺是由谢建兵;杨忠鹏;邓宇廷;苑伟政设计研发完成，并于2021-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高加工容错率的多环谐振式MEMS陀螺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种高加工容错率的多环谐振陀螺，包括支撑底层1，氧化绝缘层2，器件结构层3；所述的器件结构层包括锚固台、多个同心圆环结构、环间连接梁、电极；所述的电极还包括工作电极，孤岛电极。本发明提出的多环谐振陀螺不仅具有完全对称的谐振结构和高加工容错率，还解决了多环谐振陀螺输出正交误差大及两个工作模态频率裂解大的问题，更重要的是所设计的双折叠梁辐条结构有效减小加工误差的影响，极大地提升陀螺性能。

本发明授权一种高加工容错率的多环谐振式MEMS陀螺在权利要求书中公布了：1.一种高加工容错率的多环谐振式MEMS陀螺，包括支撑底层，氧化绝缘层，器件结构层；所述的支撑底层位于最下方，用来设置氧化绝缘层；所述的氧化绝缘层设置在支撑底层顶部，氧化绝缘层顶部用来设置器件结构层；所述的器件结构层设置在氧化绝缘层顶部，其特征在于：所述器件结构层包括锚固台、多个同心圆环结构、环间连接梁、电极；所述的锚固台为圆形且与支撑底层同心，锚固台底部设置有氧化绝缘层；所述的多个同心圆环结构通过环间连接梁设置在锚固台上，多个同心圆环底部不设置氧化绝缘层，且多个同心圆环分为多组，靠近锚固台的第一圆环设置为一组，远离第一圆环的其余圆环设置为每组包括两个圆环；所述的环间连接梁包括双折叠梁形和直臂形；锚固台与第一圆环之间设置为周向均布的若干直臂形连接梁，第一圆环与靠近第一圆环的一组同心圆环之间、以及其余各组同心圆环之间都设置为周向均布的若干双折叠梁形连接梁；所述的各相应的双折叠梁形连接梁径向方向对应，且与所述的各直臂形连接梁的径向方向错开；各组同心圆环内的两个同心圆环设置为直臂形连接梁；所述的电极还包括工作电极，孤岛电极，两类电极底部均设置有氧化绝缘层；所述的工作电极设置为多个，在两组同心圆环间均匀分布，每两组同心圆环之间设置有十六对电极用于输入驱动信号或输出检测信号；所述的孤岛电极设置在双折叠梁辐条外部两侧及双折叠梁辐条内部，每两组同心圆环之间设置有八个双折叠梁，每个双折叠梁辐条对应一组孤岛电极，一组孤岛电极包括有三个孤岛电极，用于隔离工作电极与双折叠梁辐条。

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