恭喜上海大族富创得科技股份有限公司吴功获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海大族富创得科技股份有限公司申请的专利晶圆转移机械臂、晶圆水平承托装置以及承托方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113745140B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111090674.1，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆转移机械臂、晶圆水平承托装置以及承托方法是由吴功;倪萌;国建花设计研发完成，并于2021-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆转移机械臂、晶圆水平承托装置以及承托方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆转移机械臂，包括：机械臂本体；以及设置于机械臂上的晶圆水平承托装置，晶圆水平承托装置包括驱动机构和至少一个托爪盘，托爪盘上设置有两个托爪组，两托爪组均包括至少一个托爪块，驱动机构与至少一个托爪组连接，以驱动一托爪组相对另一托爪组移动，并形成用于容纳并承托晶圆的收容空间。本发明通过机械臂本体和晶圆水平承托装置相配合，实现对水平状态晶圆平稳、高效地取放、转移；进一步地，晶圆水平承托装置通过驱动机构驱动托爪组形成多种用于容纳并承托晶圆的收容空间，进而适宜不同状态或尺寸的晶圆，并且阶梯状托爪块，实现了在同一托爪块区分承托不同状态晶圆，提高了空间利用率。
本发明授权晶圆转移机械臂、晶圆水平承托装置以及承托方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆转移机械臂，其特征在于，包括：机械臂本体；以及设置于所述机械臂上的晶圆水平承托装置，所述晶圆水平承托装置包括驱动机构和至少一个托爪盘，所述托爪盘上设置有两个托爪组，两所述托爪组均包括至少一个托爪块，以形成用于容纳并承托晶圆的收容空间，所述托爪块为阶梯状，且沿其高度方向包括至少两个承托面和限位面，两所述托爪组内的对应所述承托面相适配，以用于承托所述晶圆，所述限位面用于限制所述晶圆水平移动，所述驱动机构用于驱动至少一所述托爪组移动，以使对应所述承托面与待收容的所述晶圆相适配，并且对应的相邻两所述限位面之间的最小距离小于所述晶圆的直径。
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