恭喜默克专利股份有限公司工藤隆范获国家专利权
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龙图腾网恭喜默克专利股份有限公司申请的专利化学增幅型光致抗蚀剂获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114730130B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080078101.4，技术领域涉及：G03F7/022；该发明授权化学增幅型光致抗蚀剂是由工藤隆范;杨帆设计研发完成，并于2020-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学增幅型光致抗蚀剂在说明书摘要公布了：本发明涉及抗蚀剂组合物其包含A聚合物组分、B光致产酸剂组分、C光活性重氮萘醌组分及D溶剂。该聚合物组分包含酚醛清漆衍生物及包含羟基苯乙烯重复单元的聚合物的混合物。该聚合物组分包含具有游离酚羟基部分的重复单元及具有受酸可裂解缩醛部分保护的酚羟基部分的重复单元。该正型光致抗蚀剂组合物适用于制造电子装置。
本发明授权化学增幅型光致抗蚀剂在权利要求书中公布了：1.一种化学增幅型光致抗蚀剂组合物，其包含A聚合物组分、B光致产酸剂、C光活性重氮萘醌化合物，及D溶剂，其中：A该聚合物组分是A-1酚醛清漆衍生物及A-2包含羟基苯乙烯重复单元的聚合物的混合物；A-1酚醛清漆衍生物包含具有游离酚羟基部分及受酸可裂解缩醛部分保护的酚羟基部分的酚醛清漆重复单元；及A-2包含具有游离酚羟基部分及受酸可裂解缩醛部分保护的酚羟基部分的羟基苯乙烯重复单元的聚合物。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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