恭喜因文森斯公司G·拉吉获国家专利权
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龙图腾网恭喜因文森斯公司申请的专利用于使平面外感测加速度计偏移最小化的微机电系统结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114391103B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080063845.9，技术领域涉及：G01P21/00；该发明授权用于使平面外感测加速度计偏移最小化的微机电系统结构是由G·拉吉;M·J·汤普森;L·科罗纳托;R·马提尼设计研发完成，并于2020-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于使平面外感测加速度计偏移最小化的微机电系统结构在说明书摘要公布了：描述了倾斜z轴平面外感测微机电系统加速度计和相关结构和配置的示例性实施例。所披露的实施例有助于改善偏移稳定性。非限制性实施例提供示例性微机电系统结构和设备，其特征在于一个或多个具有关于与弹簧或弹性耦合轴正交的轴对称的感测微机电系统结构、与电极图案的其中一个对称轴对齐的弹簧或弹性耦合轴、不同数量的参考电极和感测电极、具有至少两个对称轴其中一个沿着弹簧或弹性耦合的轴的参考微机电系统结构和或在弹簧或弹性耦合轴下方的参考结构。
本发明授权用于使平面外感测加速度计偏移最小化的微机电系统结构在权利要求书中公布了：1.一种微机电系统MEMS设备，包括:参考MEMS结构，位在MEMS衬底上方的平面中，其中，该参考MEMS结构被锚定到该MEMS衬底；感测MEMS结构，基本上位于该MEMS衬底上方的该平面中，其中，该感测MEMS结构被配置为响应施加在该MEMS设备的外部负载而移动，其中，该参考MEMS结构被配置为该参考MEMS结构的第一臂组并且该感测MEMS结构被配置为该感测MEMS结构的第二臂组，该参考MEMS结构的该第一臂组和该感测MEMS结构的该第二臂组被布置为围绕该参考MEMS结构的中心径向延伸的叉指臂组；弹性耦合，配置为将该感测MEMS结构悬挂在该MEMS衬底上方；多个感测电极，定位成与该感测MEMS结构平行，配置为感测该感测MEMS结构的位置；以及多个参考电极，定位成与该参考MEMS结构平行，配置为感测该MEMS衬底的变形。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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