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恭喜宁波伯锐锶电子束科技有限公司李帅获国家专利权

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龙图腾网恭喜宁波伯锐锶电子束科技有限公司申请的专利一种显微镜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113764246B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010494563.6,技术领域涉及:H01J37/28;该发明授权一种显微镜是由李帅;何伟设计研发完成,并于2020-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。

一种显微镜在说明书摘要公布了:本发明公开了一种显微镜,包括:电子光学镜筒,用于发射扫描电子束;样品台,用于放置样品;靶材,可移动的设置于所述电子光学镜筒和所述样品台之间;驱动机构,所述驱动机构驱动所述靶材在第一位置和第二位置移动,所述第一位置为所述电子束作用于所述样品上的位置,所述第二位置为所述电子束作用于所述靶材上产生X射线照射于所述样品上的位置。本发明样品通过一次安装,完成扫描电子显微镜对样品的探测和纳米X射线显微镜对样品的探测的双功能探测。

本发明授权一种显微镜在权利要求书中公布了:1.一种显微镜,其特征在于:包括:电子光学镜筒,用于发射扫描电子束;样品台,用于放置样品;靶材,至少设有一个,且可移动的设置于所述电子光学镜筒和所述样品台之间;驱动机构,所述驱动机构驱动所述靶材在第一位置和第二位置移动切换,所述第一位置为所述电子束直接作用于所述样品上的位置,所述靶材的所述第一位置与所述样品台的位置在水平方向上间隔设置,所述第二位置为所述电子束作用于所述靶材上产生X射线照射于所述样品上的位置,所述第一位置与所述第二位置在水平方向上间隔设置;安装座,所述安装座上设置有至少一个安装位,每个所述安装位用于安装不同的所述靶材;第一偏转装置,所述第一偏转装置与所述安装座连接,所述安装座与所述驱动机构连接;所述第一偏转装置设置于所述电子光学镜筒与所述靶材之间,用于在所述安装座处于所述第二位置的情况下改变入射到所述靶材前的所述电子束的运动方向,并调整所述扫描电子束入射到所述靶材上的入射角;所述电子光学镜筒包括物镜和第二偏转装置,所述第二偏转装置设置于所述物镜和所述第一偏转装置之间,所述物镜用于控制电子束的束流大小,所述第二偏转装置用于改变电子源发射出的电子束的运动方向,以在所述安装座处于所述第一位置的情况下改变所述电子束入射到所述样品上的入射角,并在所述安装座处于所述第二位置的情况下使得电子束作用于靶材上的作用点不断变化,而延长所述靶材的使用寿命。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人宁波伯锐锶电子束科技有限公司,其通讯地址为:315000 浙江省宁波市镇海区庄市街道中官西路777号创e慧谷20号楼一楼、五楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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