恭喜江苏久瑞高能电子有限公司程永波获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏久瑞高能电子有限公司申请的专利一种电子束聚焦位偏移测试装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111141222B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010029378.X,技术领域涉及:G01B11/02;该发明授权一种电子束聚焦位偏移测试装置是由程永波;黄伟;曹娟设计研发完成,并于2020-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电子束聚焦位偏移测试装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种电子束聚焦位偏移测试装置,包括电子束引出系统、聚焦系统、波纹管组件以及扫描系统,所述电子束引出系统通过支撑管与聚焦系统连接,所述聚焦系统通过四通组件与波纹管组件连接,所述扫描系统位于波纹管组件底端;还包括测量装置;所述四通组件的法兰与波纹管组件的法兰之间设置有光缆组件,所述测量装置接地并且与光缆组件电性连接,所述光缆组件包括法兰焊接组件。本发明可对电子束束斑位进行在线实时检测,并且可在发生偏移时进行纠正,形成反馈机制,避免电子束偏移打在真空管道上,且可避免造成设备严重损坏以及由于电子束偏移打在真空管道外壁上后产生的X射线。
本发明授权一种电子束聚焦位偏移测试装置在权利要求书中公布了:1.一种电子束聚焦位偏移测试装置,包括电子束引出系统(1)、聚焦系统(2)、波纹管组件(4)以及扫描系统(5),所述电子束引出系统(1)通过支撑管(7)与聚焦系统(2)连接,所述聚焦系统(2)通过四通组件(8)与波纹管组件(4)连接,所述扫描系统(5)位于波纹管组件(4)底端;其特征在于:还包括测量装置(6);所述四通组件(8)的法兰与波纹管组件(4)的法兰之间设置有光缆组件(3),所述测量装置(6)接地并且与光缆组件(3)电性连接,所述光缆组件(3)包括法兰焊接组件(31);所述光缆组件(3)还包括合金垫圈(32)和绝缘片(33);所述法兰焊接组件(31)的上端面依次通过合金垫圈(32)和绝缘片(33)与四通组件(8)的法兰连接,所述法兰焊接组件(31)的下端面依次通过合金垫圈(32)和绝缘片(33)与波纹管组件(4)的法兰连接;所述法兰焊接组件(31)包括法兰体(311)、盖环(314)以及水管接头(316);所述法兰体(311)上同轴设置有环形水槽(313),所述环形水槽(313)内设置有隔板(315),所述盖环(314)封闭盖在环形水槽(313)上并且与隔板(315)相配合;所述法兰体(311)中部同轴设置有通孔(312);所述合金垫圈(32)和绝缘片(33)的中心孔同轴设置,并且孔径均大于法兰体(311)中部的通孔(312)的孔径;所述法兰焊接组件(31)的材质为T2铜;如果电子束发生偏移,便不会经过光缆组件(3)的法兰焊接组件(31)上的通孔(312),只能打在法兰体(311)上,由于法兰体(311)是T2铜材质,便产生电流信号,此电流信号会被测量装置(6)检测到,随后测量装置(6)向加速器的控制系统输出信号,控制系统控制电子束引出系统(1)做出调整。
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