恭喜应用材料公司D·卢博米尔斯基获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利处理腔室的耐腐蚀接地屏蔽件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113169114B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980080531.7，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权处理腔室的耐腐蚀接地屏蔽件是由D·卢博米尔斯基;贺小明;J·Y·孙;邬笑炜;L·卡琳塔;S·朴设计研发完成，并于2019-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本处理腔室的耐腐蚀接地屏蔽件在说明书摘要公布了：基板支撑组件包括接地屏蔽件和被接地屏蔽件围绕的加热器。接地屏蔽件包括板。在一个实施例中，接地屏蔽件由陶瓷主体构成，并且包括导电层、在板的上表面上的第一保护层。在另一个实施例中，接地屏蔽件由导电主体和板的上表面上的第一保护层构成。
本发明授权处理腔室的耐腐蚀接地屏蔽件在权利要求书中公布了：1.一种处理腔室的接地屏蔽件，包含：陶瓷主体，包含板、从所述板的上表面延伸的凸起边缘以及从所述板的下表面延伸的空心轴，其中加热器适配在所述板的所述上表面上的所述凸起边缘内；导电层，所述导电层至少在所述板的所述上表面上，并且还在所述凸起边缘的一个或多个表面、所述空心轴的一个或多个表面、或所述板的所述下表面的一个或多个部分上，并且其中所述导电层在一个或多个点处连接到接地；以及第一保护层，在至少所述导电层上，其中加热器板适配在所述凸起边缘内和所述接地屏蔽件的板上，使得所述加热器板设置在所述第一保护层、所述导电层、以及所述接地屏蔽件的板的所述上表面的顶部上，并且其中所述接地屏蔽件用于减小与在所述处理腔室处执行的工艺相关联的所述加热器的寄生电容或寄生电感中的至少一者。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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