恭喜株式会社尼康三石创获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社尼康申请的专利基板贴合装置、计算装置、基板贴合方法和计算方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112955999B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201980070212.8,技术领域涉及:H01L21/02;该发明授权基板贴合装置、计算装置、基板贴合方法和计算方法是由三石创;菅谷功;角田真生;铃木一弘;塩见隆;福田稔设计研发完成,并于2019-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板贴合装置、计算装置、基板贴合方法和计算方法在说明书摘要公布了:本发明涉及基板贴合装置、计算装置、基板贴合方法和计算方法。基板贴合装置具备:第一保持部,其保持第一基板;以及第二保持部,其保持第二基板,在第一基板的一部分与第二基板的一部分之间形成初始贴合区域,并通过从第二保持部释放形成了初始贴合区域的第二基板,来将第一基板和第二基板贴合,基于与第二基板的形变相关的信息来设定初始贴合区域。
本发明授权基板贴合装置、计算装置、基板贴合方法和计算方法在权利要求书中公布了:1.一种基板贴合装置,具备:第一保持部,其保持第一基板;第二保持部,其保持第二基板;以及设定部,其设定初始贴合区域,在所述第一基板的一部分与所述第二基板的一部分之间形成接触区域之后,扩大所述接触区域来形成所述初始贴合区域,并通过从所述第二保持部释放形成了所述初始贴合区域的所述第二基板,来将所述第一基板和所述第二基板贴合,所述设定部基于与所述第二基板的形变相关的信息来设定所述初始贴合区域。
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