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龙图腾网恭喜宜宾英发德耀科技有限公司申请的专利一种延长石英备件寿命的高温硼扩散工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119364908B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411933828.2，技术领域涉及：H10F71/00；该发明授权一种延长石英备件寿命的高温硼扩散工艺是由李勇;张敏;俞少华设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种延长石英备件寿命的高温硼扩散工艺在说明书摘要公布了：本申请提出了一种延长石英备件寿命的高温硼扩散工艺，涉及TOPCon电池制备技术领域。该工艺包括：将硅片升温进行前氧化工艺；通入氧气和硼源，调整压力进行第一次硼扩散沉积，沉积后利用氮气进行吹扫；重复上述步骤进行第二次硼扩散沉积和第三次硼扩散沉积；然后进行吹扫和推进，再次升温并调整压力，通入氧气进行后氧化处理，最后降温回压出舟。本申请通过在沉积步骤时提高氧气通入量，使得在未增加BCL3耗量的同时，提高氧气与硼源的反应量；提高反应压力，减少泵抽速，进而提高沉积速率，得到更高浓度的PN结；在后氧化阶段降低温度和通氧量，增加氧化时间，可以得到较浅的PN结，减少石英的氧化，延长石英备件的寿命。

本发明授权一种延长石英备件寿命的高温硼扩散工艺在权利要求书中公布了：1.一种延长石英备件寿命的高温硼扩散工艺，其特征在于，包括以下步骤：S1、将硅片放置在舟托上，送入硼扩散炉，升温至845-850℃进行前氧化工艺，通入氮气900-1100sccm、氧气1500sccm，维持100-150s；S2、通入氧气450-500sccm和硼源110-130sccm，调整压力至220-240mbar进行第一次硼扩散沉积，沉积170-200s后通入氮气5000sccm吹扫90-110s；S3、重复S2步骤进行第二次和第三次硼扩散沉积；S4、第三次沉积后升温至880-890℃，通入氮气3800-4200sccm吹扫120-180s，随后进行两次推进扩散，再升温至1020-1030℃进行后氧化处理，通入氧气16000-19000sccm、压力820-880mbar，持续3500-5000s，最后降温回压出舟。

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