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龙图腾网恭喜合肥美镓传感科技有限公司申请的专利声表面波集成传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119354248B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411915030.5，技术领域涉及：G01D5/48；该发明授权声表面波集成传感器及其制备方法是由刘云鹏;孙剑文;卓启明;刘煦设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本声表面波集成传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种声表面波集成传感器及其制备方法，属于半导体技术领域。该声表面波集成传感器包括多种传感单元。每种传感单元包括沟道层、势垒层、第一电极和第二电极，势垒层包括第一插指电极和第二插指电极，第一插指电极与第二插指电极交叉设置，第一电极与第一插指电极电连接，第二电极与第二插指电极电连接。声表面波在第一插指电极与第二插指电极的材料表面传播，其传播特性（如速度、相位和幅度）受周围环境变化的影响。通过标定第一电极和第二电极上电信号的频率位移的大小，实现对外界环境变化的检测。

本发明授权声表面波集成传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种声表面波集成传感器，其特征在于，包括衬底，及设置于所述衬底上的多种传感单元；每种传感单元包括：沟道层，设置于所述衬底上；势垒层，设置于所述沟道层的远离所述衬底的一侧，所述势垒层包括第一插指电极和第二插指电极，所述第一插指电极与所述第二插指电极交叉设置；第一电极和第二电极，均设置于所述势垒层的远离所述衬底的一侧；所述第一电极与所述第一插指电极电连接，所述第二电极与所述第二插指电极电连接；所述多种传感单元至少包括第三传感单元，所述第三传感单元用于检测紫外线；所述第三传感单元的势垒层还包括加热部，所述加热部设置于所述第三传感单元的第一插指电极与第二插指电极之间；所述第三传感单元还包括第三电极和第四电极，所述第三电极和所述第四电极分别与所述加热部电连接；所述声表面波集成传感器还包括至少贯穿所述沟道层和所述势垒层的第二镂空部，所述第二镂空部在所述衬底上的正投影，位于所述第三传感单元在所述衬底上的正投影的四周。

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