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龙图腾网恭喜盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司申请的专利一种晶圆位置误差检测方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119314930B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411855312.0，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种晶圆位置误差检测方法和装置是由贺婷;张辰;孙平;禅明;张永刚设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆位置误差检测方法和装置在说明书摘要公布了：本发明属于半导体设备校准技术领域，具体涉及一种晶圆位置误差检测方法和装置，通过在晶圆传输路径的侧方设置单个位置检测传感器，以实现对晶圆上的非圆心弦长及其端点位置的记录扫描，同时利用标准晶圆的位置作为参照标准系，从而还原标准晶圆和待测晶圆由位置检测传感器扫描的端点位置在参照坐标系中的位置坐标，从而得到第二腔室中待测晶圆的圆心与标准晶圆的圆心的偏差值，并根据该偏差值对待测晶圆进行位置校准，有利于提升晶圆制造的工艺质量；相对于多传感器检测的方案，本发明实施例仅采用单个位置检测传感器即可实现晶圆位置的校准，校准成本更低，而且易于更换和维护。

本发明授权一种晶圆位置误差检测方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆位置误差检测方法，基于晶圆位置误差检测装置，包括单个位置检测传感器，所述位置检测传感器位于安装在第一腔室与第二腔室之间的传送路径上，其特征在于，所述检测方法包括：S100，获取标准晶圆在第一腔室的第一标准圆心位置，以及获取标准晶圆移动到第二腔室的第二标准圆心位置，并由第一标准圆心位置和第二标准圆心位置确定传输路径，同时获取标准晶圆沿所述传输路径经位置检测传感器确定的第一标准参照位置和第二标准参照位置，并确定所述第一标准参照位置与所述第二标准参照位置之间的距离为标准弦长；S200，获取待测晶圆在第一腔室的第一实际圆心位置，以及获取待测晶圆移动到第二腔室的第二实际圆心位置，并由第一实际圆心位置和第二实际圆心位置确定机械手臂的传输路径，同时获取待测晶圆沿所述传输路径经位置检测传感器确定的第一实际参照位置和第二实际参照位置，并确定所述第一实际参照位置与所述第二实际参照位置之间的距离为参考弦长；S300，以第二标准圆心位置为原点，以所述传输路径方向为第一坐标方向，以垂直于所述传输路径方向为第二坐标方向建立参考坐标系；S400，获取所述标准弦长在所述参考坐标系中的中点坐标为标准中点坐标；以及，获取所述参考弦长在所述参考坐标系中的中点坐标为实际中点坐标；S500，根据所述第二标准圆心位置与所述标准中点坐标的相对位置关系、以及所述第二实际圆心位置与所述实际中点坐标的相对位置关系，确定所述第二实际圆心位置相对于所述第二标准圆心位置的偏差值以进行位置误差校准；在S500中，所述根据所述第二标准圆心位置与所述标准中点坐标的相对位置关系、以及所述第二实际圆心位置与所述实际中点坐标的相对位置关系，确定所述第二实际圆心位置相对于所述第二标准圆心位置的偏差值，包括：根据所述第二标准圆心位置和所述标准中点坐标确定第一距离、根据所述第二实际圆心位置和所述实际中点坐标确定第二距离；根据所述标准中点坐标和所述实际中点坐标确定沿第一坐标方向的第一偏差值，以及根据所述第一距离与所述第二距离之间的差值确定沿第二坐标方向的第二偏差值。

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