江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司宗坚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司申请的专利匀流组件以及镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222781688U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421661786.7,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型匀流组件以及镀膜设备是由宗坚;陶永奇设计研发完成,并于2024-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本匀流组件以及镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型的实施例提供一种匀流组件以及镀膜设备。所述匀流组件用于气体的匀流,包括:一级匀流板,用于将所述气体向四周扩散;以及二级匀流板,沿着所述气体的气流方向位于所述一级匀流板的下游,所述二级匀流板设有多个第一通气孔。所述镀膜设备包括:镀膜腔体,包括用于放置待镀膜的基材的镀膜腔室;以及匀流组件,设置于所述镀膜腔室内。
本实用新型匀流组件以及镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种匀流组件,用于气体的匀流,其特征在于,包括:一级匀流板,用于将所述气体向四周扩散;以及二级匀流板,沿着所述气体的气流方向位于所述一级匀流板的下游,所述二级匀流板设有多个第一通气孔。
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