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恭喜唯实先端智能科技(苏州)有限公司刘明获国家专利权

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龙图腾网恭喜唯实先端智能科技(苏州)有限公司申请的专利一种堆垛机粉尘清理机构及高洁净晶圆存储库获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117864645B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311556977.7,技术领域涉及:B65G1/04;该发明授权一种堆垛机粉尘清理机构及高洁净晶圆存储库是由刘明;黄益民设计研发完成,并于2023-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。

一种堆垛机粉尘清理机构及高洁净晶圆存储库在说明书摘要公布了:本发明涉及的一种堆垛机粉尘清理机构及高洁净晶圆存储库,包括堆垛机,堆垛机包括移动板和连接在移动板上方的堆垛机本体,移动板的两端连接有滑块,滑块沿设置在导向槽内的滑轨滑动,导向槽的侧面开设有第一净化通道,第一净化通道的出风口连接有第一抽风机,第一抽风机的出风口与清洁腔连通,清洁腔底部设置有将清洁腔中的气体抽出的第二抽风机,第二抽风机用于将清洁腔中的气体抽送至存储库的底部能够通过第一抽风机及时排出并将其输送到清洁腔中,然后第二抽风机将颗粒物抽出存储库,能够显著降低堆垛机运行过程中对晶圆造成的污染,进而提高晶圆保存的安全性。

本发明授权一种堆垛机粉尘清理机构及高洁净晶圆存储库在权利要求书中公布了:1.一种堆垛机粉尘清理结构,其特征在于:包括堆垛机,所述堆垛机包括移动板和连接在所述移动板上方的堆垛机本体,所述移动板的两端连接有滑块,所述滑块沿设置在导向槽内的滑轨滑动,所述导向槽的侧面开设有第一净化通道,所述第一净化通道的出风口连接有第一抽风机,所述第一抽风机的出风口与清洁腔连通,所述清洁腔底部设置有将清洁腔中的气体抽出的第二抽风机,所述第二抽风机用于将清洁腔中的气体抽送至存储库的底部;2个导向槽沿所述存储库的中轴线对称设置,所述导向槽沿所述堆垛机本体的移动方向延伸,若干个所述第一净化通道依次开设在所述导向槽的侧面并通过所述出风口与所述清洁腔连通;所述堆垛机本体包括水平运动模组和垂直运动模组,所述垂直运动模组包括安装在矩形框架中的皮带和连接在皮带上的垂直移动块,所述皮带通过升降驱动电机进行驱动,所述矩形框架中具有导流通道,所述导流通道内设置有第一导流风扇,所述导流通道的底部设置有第二导流风扇,皮带摩擦产生的粉尘或碎屑跟随气流依次经过第一导流风扇和第二导流风扇输送至底部。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人唯实先端智能科技(苏州)有限公司,其通讯地址为:215129 江苏省苏州市高新区华通高新科技产业园4号厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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