恭喜华海清科股份有限公司刘远航获国家专利权
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龙图腾网恭喜华海清科股份有限公司申请的专利一种基板磨削方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115945981B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211684451.2，技术领域涉及：B24B7/22；该发明授权一种基板磨削方法是由刘远航;付永旭;陈超;路新春设计研发完成，并于2022-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基板磨削方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基板磨削方法，其包括：实时检测磨削基板受到的磨削力；计算磨削力引起的磨削工作台的倾斜角度变化；根据基板的已加工面形和目标面形，确定磨削工作台的倾斜角度调整方案，以补偿磨削力引起的倾斜角度变化。
本发明授权一种基板磨削方法在权利要求书中公布了：1.一种基板磨削方法，其特征在于，包括：S1，实时检测磨削基板受到的磨削力；S2，计算磨削力引起的磨削工作台的倾斜角度变化；S3，根据基板的已加工面形和目标面形，确定磨削工作台的倾斜角度调整方案，以补偿磨削力引起的倾斜角度变化；步骤S1中，磨削力F为： 其中，Fx为磨削力沿x方向的分力；Fy为磨削力沿y方向的分力；Fxi为第i传感器检测获得的沿x轴的磨削力；Fyi为第i传感器检测获得的沿y轴的磨削力；i＝1、2；x轴为垂直于磨削痕且经由其一端点的直线，y轴为经由磨削痕端点的直线；步骤S2中，磨削力引起的磨削工作台的倾斜角度变化： 其中，△αF为磨削力引起的磨削工作台的轴线围绕x轴的角度变化，△βF为磨削力引起的磨削工作台的轴线围绕y轴的角度变化；vs为砂轮的旋转速度；vw为基板的旋转速度；A、B为调节系数。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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