恭喜佳能特机株式会社田村博之获国家专利权
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龙图腾网恭喜佳能特机株式会社申请的专利成膜装置、成膜方法及蒸发源单元获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115700293B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210801643.0，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权成膜装置、成膜方法及蒸发源单元是由田村博之;风间良秋;原雄太郎;高桥龙也;松本行生设计研发完成，并于2022-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本成膜装置、成膜方法及蒸发源单元在说明书摘要公布了：本发明提供一种容易从罩取出蒸发源的成膜装置、成膜方法及蒸发源单元。成膜装置使蒸镀物质气化而在基板上进行成膜。容器形成内部空间，该内部空间包括收容蒸镀物质的收容空间及供气化的蒸镀物质扩散的扩散空间。罩构件覆盖容器的至少一部分。容器以在收容空间的上表面设置第一方向上的宽度比收容空间窄的扩散空间的方式形成内部空间。罩构件包括第一罩和第二罩，第一罩在容器中至少覆盖划定收容空间的侧面的第一侧壁，第二罩转动自如地支承于第一罩，在容器中至少覆盖连接壁，该连接壁将第一侧壁及划定扩散空间的侧面的第二侧壁连接。
本发明授权成膜装置、成膜方法及蒸发源单元在权利要求书中公布了：1.一种成膜装置，所述成膜装置使蒸镀物质气化而在基板上进行成膜，其特征在于，具备：容器，所述容器具有内部空间，该内部空间包括收容固体或液体的蒸镀物质的收容空间及供气化的蒸镀物质扩散的扩散空间；及罩构件，所述罩构件覆盖所述容器的至少一部分，在所述收容空间之上配置有所述扩散空间，所述扩散空间的第一方向上的宽度比所述收容空间的所述第一方向上的宽度窄，所述容器包括：第一侧壁，所述第一侧壁划定所述收容空间的侧面；第二侧壁，所述第二侧壁划定所述扩散空间的侧面；及连接壁，所述连接壁将所述第一侧壁及所述第二侧壁连接，所述罩构件包括：第一罩，所述第一罩至少覆盖所述第一侧壁；及第二罩，所述第二罩转动自如地支承于所述第一罩，至少覆盖所述连接壁。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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