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龙图腾网恭喜瑞声开泰科技(武汉)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司申请的专利一种三轴MEMS陀螺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114719834B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210230313.0，技术领域涉及：G01C19/5656；该发明授权一种三轴MEMS陀螺是由马昭;占瞻;阚枭;杨珊;严世涛;彭宏韬;李杨;黎家健;陈秋玉设计研发完成，并于2022-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种三轴MEMS陀螺在说明书摘要公布了：本发明提供了一种三轴MEMS陀螺，包括基底、弹性连接于所述基底的传感单元、以及与所述传感单元耦合并驱动所述传感单元运动的驱动单元，所述基底包括四个分别位于一矩形的四个角部位置的锚点结构以及四个分别弹性连接于各所述锚点结构的耦合结构；所述驱动单元包括四个分别位于所述矩形四个角内部位置且一端分别和相邻的所述耦合结构弹性连接的驱动件；所述传感单元包括四个分别设置于各所述让位间隔内且弹性连接于相邻的所述耦合结构以形成矩形框架的XY质量块、以及四个分别弹性连接于所述驱动件且位于所述驱动件远离所述锚点结构的一侧的Z质量块。本发明陀螺为差分驱动，能实现差分检测，降低正交误差。

本发明授权一种三轴MEMS陀螺在权利要求书中公布了：1.一种三轴MEMS陀螺，包括基底、弹性连接于所述基底的传感单元、以及与所述传感单元耦合并驱动所述传感单元运动的驱动单元，其特征在于，所述三轴MEMS陀螺为矩形状；所述基底包括四个分别位于所述三轴MEMS陀螺的四个角部位置的锚点结构以及四个分别弹性连接于各所述锚点结构的耦合结构，相邻的所述耦合结构之间形成让位间隔；所述驱动单元包括四个分别位于所述三轴MEMS陀螺四个角内部位置且一端分别和相邻的所述耦合结构弹性连接的驱动件，四个所述驱动件均为框架状，四个所述驱动件围合成环形且对称设置；所述传感单元包括四个分别设置于各所述让位间隔内且弹性连接于相邻的所述耦合结构以形成矩形框架的XY质量块、以及四个分别弹性连接于所述驱动件且位于所述驱动件远离所述锚点结构的一侧的Z质量块，相邻的所述Z质量块之间弹性连接。

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