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龙图腾网恭喜北京信息科技大学申请的专利全方位动热源式Z轴微机械加速度计及其加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114019186B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111410354.X，技术领域涉及：G01P15/12；该发明授权全方位动热源式Z轴微机械加速度计及其加工方法是由朴林华;李备;佟嘉程;王灯山设计研发完成，并于2021-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本全方位动热源式Z轴微机械加速度计及其加工方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种全方位动热源式Z轴微机械加速度计及其加工方法，该Z轴微机械加速度计包括上敏感层、下敏感层、基底层和盖板；上敏感层中心位置设置加热器，下方是中间加热腔；下敏感层包含有两个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；加热器通过三个半圆形支撑梁悬置在上敏感层的中心位置；盖板上刻蚀有凹槽，且与上敏感层的表面密闭连接。本发明采用的敏感元件是在一块硅片上通过光刻、腐蚀等工艺制作，不仅可以提高传感器的性能，而且可实现批量生产。本发明可实现Z轴加速度的测量，具有灵敏度高、测量速度快、结构紧密等特点。

本发明授权全方位动热源式Z轴微机械加速度计及其加工方法在权利要求书中公布了：1.一种全方位动热源式Z轴微机械加速度计，其特征在于，包括上敏感层、下敏感层、基底层和盖板，其中，所述上敏感层表面设置有加热器，下方含有中间加热腔；下敏感层设置一对热敏电阻且下方含有中间检测腔；所述上敏感层、下敏感层键合在一起，形成敏感层；定义矩形加速度计的长宽方向分别为X，Y方向，敏感层的高度方向为Z向；所述热敏电阻的放置方向均与X方向垂直；两个热敏电阻相对设置，用于检测Z轴的加速度；所述加热器通过三个等间距均匀设置的半圆形辐条悬置在上敏感层的中心位置，形成加热器；两个热敏电阻位于下敏感层，沿Y方向对称的设置在加热器的左、右两侧；所述加热器除了能沿着垂直于敏感层的Z轴摆动外，也能沿着敏感层所在XOY平面内的任一方位角摆动；所述加热器的两端沿着Y方向覆盖对称的电极，形成可动电阻式热源；所述热敏电阻的下方是与中间加热腔深度相同的矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；所述盖板和基底将中间加热腔和中间检测腔的气体介质与外界隔离，形成一个密封的工作系统；中间加热腔和中间检测腔高度与上密封层中凹槽的深度为总的腔体高度z，300μm≤z≤1000μm；所述盖板的凹槽深度为盖板高度的23；所述敏感层的所述加热器和热敏电阻的总高度为100nm至1000nm。

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