恭喜福州京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司余雪获国家专利权
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龙图腾网恭喜福州京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司申请的专利半色调掩膜板、显示基板的制作方法及显示基板获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113419399B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110692445.0,技术领域涉及:G03F1/40;该发明授权半色调掩膜板、显示基板的制作方法及显示基板是由余雪;徐姗姗;李梁梁;邱文彪;林滨;付婉霞;席文星设计研发完成,并于2021-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本半色调掩膜板、显示基板的制作方法及显示基板在说明书摘要公布了:本发明提供一种半色调掩膜板,所述半色调掩膜板包括金属遮光图形,所述金属遮光图形包括多个图形部,所述金属遮光图形还包括静电释放导线,至少一对相邻的图形部之间连接有所述静电释放导线,对于至少一对被所述静电释放导线电连接的图形部而言,至少其中一个图形部包括图形部本体和形成在所述图形部本体的边缘处的缺口,所述静电释放导线的端部伸入所述缺口中,并与所述图形部本体电连接。通过半色调掩膜板上的缺口结构,能够降低半色调掩膜板本身的ESD风险,且能改善曝光后显示基板金属图形上的毛刺影响,也降低了多层搭接场景由于毛刺引起的ESD风险。本发明还提供一种使用所述半色调掩膜板的显示基板的制作方法及一种由所述方法制得的显示基板。
本发明授权半色调掩膜板、显示基板的制作方法及显示基板在权利要求书中公布了:1.一种半色调掩膜板,所述半色调掩膜板包括金属遮光图形,所述金属遮光图形包括多个图形部,所述金属遮光图形还包括静电释放导线,至少一对相邻的图形部之间连接有所述静电释放导线,其特征在于,对于至少一对被所述静电释放导线电连接的图形部而言,至少其中一个图形部包括图形部本体和形成在所述图形部本体的边缘处的缺口,所述静电释放导线的端部伸入所述缺口中,并与所述图形部本体电连接;所述缺口为矩形凹槽;所述缺口的短边的尺寸在1μm至2μm之间;所述缺口的长边的尺寸在2.5μm至3.5μm之间;所述静电释放导线上最细部位的宽度不超过1.0μm;所述静电释放导线包括第一释放导线和第二释放导线。
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