恭喜苏州苏大维格科技集团股份有限公司;苏州大学吕帅获国家专利权
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龙图腾网恭喜苏州苏大维格科技集团股份有限公司;苏州大学申请的专利一种光刻设备及光刻方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113495432B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010269164.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光刻设备及光刻方法是由吕帅;徐顺达;王冠楠;朱鹏飞;浦东林设计研发完成，并于2020-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻设备及光刻方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光刻设备，包括激光输出装置、光路选择装置、检测模块和光刻模块，所述激光输出装置发射激光至所述光路选择装置，所述光路选择装置选择将激光反射至所述光刻模块或所述检测模块。本发明还公开了一种光刻方法，利用上述光刻设备进行光刻。通过所述光路选择装置选择将激光反射至所述光刻模块或所述检测模块，以使光刻设备能实时检测曝光能量，保证了光刻效果，提高了光刻效率，提升了产品的良品率。
本发明授权一种光刻设备及光刻方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻设备，其特征在于，包括激光输出装置、光路选择装置、检测模块和光刻模块，所述激光输出装置发射激光至所述光路选择装置，所述光路选择装置选择将激光反射至所述光刻模块或所述检测模块；所述光刻设备还包括图像上载装置，所述图像上载装置用于向所述光路选择装置传输全黑图像或光刻图片，以使所述光路选择装置按照全黑图像或光刻图片选择激光的反射路径。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州苏大维格科技集团股份有限公司;苏州大学，其通讯地址为：215123 江苏省苏州市工业园区新昌路68号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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