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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利通过锌掺杂增强金属衬里的钝化和粘附获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112236845B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980038040.6，技术领域涉及：H01L21/285；该发明授权通过锌掺杂增强金属衬里的钝化和粘附是由耶迪·N·道尔迪;安鲁达哈·乔伊;史蒂文·詹姆斯·马德森;德赖斯·狄克特斯设计研发完成，并于2019-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本通过锌掺杂增强金属衬里的钝化和粘附在说明书摘要公布了：一种方法包括：在电介质层上沉积阻挡层，以防止由于所述电介质层中存在氧化物而导致待通过电镀而沉积的金属层氧化；以及在所述阻挡层上沉积掺杂的衬里层，以与待通过所述电镀而沉积在所述衬里层上的所述金属层结合。当在所述电镀之前所述衬里层的表面暴露于空气时，所述掺杂剂在所述表面上形成保护性钝化层，并且在所述电镀期间溶解，使得通过所述电镀沉积在所述衬里层上的所述金属层与所述衬里层结合。所述掺杂剂与所述电介质层反应并且在所述阻挡层与所述电介质层之间形成化合物层。所述化合物层防止由于所述电介质层中存在的所述氧化物而导致的所述阻挡层和所述衬里层的氧化，并且将所述阻挡层粘附到所述电介质层上。

本发明授权通过锌掺杂增强金属衬里的钝化和粘附在权利要求书中公布了：1.一种用于增强金属衬里的钝化和粘附的方法，其包括：在电介质层上沉积阻挡层，以防止由于所述电介质层中存在氧化物而导致待通过电镀而沉积的金属层氧化；以及在所述阻挡层上沉积衬里层，以与待通过所述电镀而沉积在所述衬里层上的所述金属层结合，其中所述衬里层掺杂有掺杂剂，其中，当在所述电镀之前，所述衬里层的表面暴露于空气时，所述掺杂剂在所述表面上形成钝化层，所述金属层将在所述表面上沉积，其中，当在所述电镀之前将所述衬里层暴露于空气时，所述钝化层进一步防止所述衬里层的氧化，其中，所述钝化层在所述电镀期间溶解，使得通过所述电镀沉积在所述衬里层上的所述金属层与所述衬里层结合，其中，所述掺杂剂与所述电介质层反应并且在所述阻挡层与所述电介质层之间形成化合物层，其中所述化合物层防止由于所述电介质层中存在的所述氧化物而导致的所述阻挡层和所述衬里层的氧化，以及其中，所述化合物层将所述阻挡层粘附到所述电介质层上。

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