恭喜朗姆研究公司埃里克·佩普获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利具有一个或更多个加热器层的衬底处理系统印刷电路控制板组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111418052B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201880077337.9，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权具有一个或更多个加热器层的衬底处理系统印刷电路控制板组件是由埃里克·佩普;经常友;佛瑞德·埃格利设计研发完成，并于2018-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有一个或更多个加热器层的衬底处理系统印刷电路控制板组件在说明书摘要公布了：一种衬底处理系统包括：衬底处理室；布置在所述衬底处理室中的基座；以及布置在所述基座上的静电卡盘ESC。ESC包含由多个印刷电路板层组成的印刷电路板组件PCBA，所述印刷电路板层用于安装控制ESC的操作的电路。印刷电路板层中的一个或更多个包括加热器层，该加热器层具有一个或更多个金属迹线，所述金属迹线可以是用于覆盖该加热层的表面中的一部分或全部的铜，其足以向其余的一个或更多个印刷电路板层提供热量，以将电路维持在预定温度范围内。热量可以直接在各个其他印刷电路板层之间传导，或者可以通过印刷电路板层中的各个印刷电路板层中的通孔传导。
本发明授权具有一个或更多个加热器层的衬底处理系统印刷电路控制板组件在权利要求书中公布了：1.一种印刷电路板组件，其在衬底处理系统中，所述衬底处理系统包括衬底处理室和在所述衬底处理室内部用于保持衬底的静电卡盘静电卡盘，所述印刷电路板组件包括多个印刷电路板层，其中所述多个印刷电路板层中的一个或更多个印刷电路板层被配置为安装控制所述静电卡盘的操作的电路，所述多个印刷电路板层包括第一印刷电路板层，所述第一印刷电路板层包括覆盖所述第一印刷电路板层的第一区域的第一金属迹线，所述第一金属迹线用于向所述多个印刷电路板层中的一个或更多个其他印刷电路板层提供热量，以将所述电路保持在预定温度范围内。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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