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龙图腾网恭喜合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种OPC建模方法、系统及计算机可读存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119556520B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510127859.7，技术领域涉及：G03F1/36；该发明授权一种OPC建模方法、系统及计算机可读存储介质是由王康;罗招龙设计研发完成，并于2025-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种OPC建模方法、系统及计算机可读存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供了一种OPC建模方法、系统及计算机可读存储介质，应用于半导体技术领域，并包括确定初始OPC模型及其相应的初始光学模型的光信号差异化函数，以及基于所述光信号差异化函数，建立目标成本函数，从而通过在现有的成本函数中增设差异化的光信号差异化函数的方式，让OPC模型的建模过程不仅朝着拟合程度越好的趋势优化，同时还朝着OPC模型及其相应的光学模型的光信号差异最小的趋势优化，以避免OPC模型发生过度适配，降低OPC模型的外差，即提高了OPC模型的建模效率和准确度，亦即提高了OPC修正的准确度。

本发明授权一种OPC建模方法、系统及计算机可读存储介质在权利要求书中公布了：1.一种OPC建模方法，其特征在于，包括：获取晶圆数据集，所述晶圆数据集包括掩膜版上目标图形在晶圆上曝光后关键尺寸的实际测量值；基于晶圆数据集，确定所述掩膜版的初始OPC模型，所述初始OPC模型包括初始光学模型和初始抗蚀剂模型；基于所述初始OPC模型及其相应的初始光学模型的光强阈值和目标图形的仿真图形曲线，确定所述初始OPC模型及其相应的所述初始光学模型的光信号差异化函数；基于所述光信号差异化函数，建立目标成本函数；采用所述目标成本函数对所述初始OPC模型进行调整，以得到所述目标图形的目标OPC模型；具体的，所述初始OPC模型及相应的所述初始光学模型的光信号差异化函数为： ；其中，S1为所述初始OPC模型的光强阈值与其相应的所述目标图形的仿真图形曲线围成的封闭区域的面积，S2为所述初始OPC模型包含的所述初始光学模型的光强阈值与其相应的所述目标图形的仿真图形曲线围成的封闭区域的面积，ABS函数为绝对值函数，Diff为光信号差异化函数；以及，所述目标成本函数为： ；其中，C为目标成本函数，RMS-all为建立所述初始OPC模型过程中所进行的N次迭代的初始OPC模型的N个仿真值和N个曝光试验数据的差值的标准偏差，k为系数，且k0。

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