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龙图腾网恭喜无锡亘芯悦科技有限公司申请的专利带电粒子束扫描像差校正方法及其系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119560357B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510128134.X，技术领域涉及：H01J37/21；该发明授权带电粒子束扫描像差校正方法及其系统是由于文霞;李波;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本带电粒子束扫描像差校正方法及其系统在说明书摘要公布了：本申请涉及一种带电粒子束扫描像差校正方法及其系统。该方法包括：确定基准偏转器和待校准偏转器；分别获取基准偏转器的第一扫描图像和待校准偏转器的第二扫描图像；根据第一扫描图像确定基准偏转器的第一扫描偏转角，根据第二扫描图像确定待校准偏转器的第二扫描偏转角，根据其二者的差值确定扫描偏转角度差；获取基准偏转器和待校准偏转器之间的设计角度差；根据扫描偏转角度差和设计角度差的差值确定机械偏差角度；根据机械偏差角度确定成像补偿角度，基于根据成像补偿角度调整后图形发生器的成像参数输出目标扫描波形；根据目标扫描波形对扫描信号进行校正。本申请可以对带电粒子束扫描成像系统的扫描像差进行校正，从而提高成像质量。

本发明授权带电粒子束扫描像差校正方法及其系统在权利要求书中公布了：1.一种带电粒子束扫描像差校正方法，其特征在于，用于对带电粒子束扫描成像系统的扫描像差进行校正；所述带电粒子束扫描成像系统包括沿带电粒子束运动方向依序排列的多通道扫描偏转器以及与各通道扫描偏转器分别相连的多通道扫描波形发生器；所述带电粒子束扫描像差校正方法包括：从所述多通道扫描偏转器中确定基准偏转器和待校准偏转器；分别获取所述基准偏转器对特征图形的第一扫描图像和所述待校准偏转器对相同所述特征图形的第二扫描图像；根据所述第一扫描图像确定所述基准偏转器的第一扫描偏转角，根据所述第二扫描图像确定所述待校准偏转器的第二扫描偏转角，根据所述第一扫描偏转角和所述第二扫描偏转角之间的差值确定扫描偏转角度差；获取所述基准偏转器和所述待校准偏转器之间安装角度的设计角度差；根据所述扫描偏转角度差和所述设计角度差之间的差值确定机械偏差角度；根据所述机械偏差角度确定图形发生器的成像补偿角度，以根据所述成像补偿角度调整所述图形发生器的成像参数，并使所述扫描波形发生器根据调整后的所述成像参数输出目标扫描波形；根据所述目标扫描波形对所述待校准偏转器扫描成像时的扫描信号进行校正。

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