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龙图腾网恭喜苏州芯镁信电子科技有限公司;桂林聚联科技有限公司申请的专利一种MEMS微镜及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119414593B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510016861.7，技术领域涉及：G02B26/08；该发明授权一种MEMS微镜及制备方法是由姚飞;宋树祥;秦志斌;刘来君;沈方平;黄涌;周剑超设计研发完成，并于2025-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS微镜及制备方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种MEMS微镜及制备方法，包括层叠设置的衬底层、固定梳齿层和可动梳齿层，可动梳齿层上设有反射镜；多个通孔，纵向贯穿衬底层和固定梳齿层，衬底层、固定梳齿层与通孔间彼此设置介质层；多个金属互连结构，填充于通孔中，部分金属互连结构与固定梳齿层电性连接，另一部分与可动梳齿层电性连接；第一焊盘层，与金属互联结构暴露于衬底层的一端连接；第二焊盘层，与金属互联结构暴露于固定梳齿层表面的一端电性连接。本申请采用金属互联结构实现MEMS微镜底部第一焊盘层和正面第二焊盘层的电性连接，无需在反射镜一侧打线，降低阵列式封装复杂度和交叉干扰风险，降低功耗和寄生电容，提升MEMS微镜的可靠性和长期性能。

本发明授权一种MEMS微镜及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS微镜，其特征在于，包括：功能层，包括层叠设置的衬底层、固定梳齿层和可动梳齿层，所述可动梳齿层上设有反射镜；多个通孔，纵向贯穿所述衬底层和所述固定梳齿层，所述衬底层、所述固定梳齿层与所述通孔间彼此间设置介质层；多个金属互联结构，填充于所述通孔中，且一端暴露于所述衬底层表面，另一端暴露于所述固定梳齿层表面；所述多个金属互联结构中的部分所述金属互联结构与所述固定梳齿层电性连接，另一部分所述金属互联结构与所述可动梳齿层电性连接；键合金属层，位于所述固定梳齿层和所述可动梳齿层之间，所述键合金属层具有预设图形，所述通孔位于所述预设图形在纵向上的投影区域以内；所述键合金属层包括相互隔离的结构键合区、多个第一金属电气互联区和多个第二金属电气互联区，所述第一金属电气互联区和所述第二金属电气互联区位于所述可动梳齿层和所述金属互联结构之间；所述第一金属电气互联区与所述可动梳齿层中的可动梳齿区电性连接；所述第二金属电气互联区与所述固定梳齿层电性连接，且与所述可动梳齿层中的可动梳齿区相互隔离；第一焊盘层，包括多个第一焊盘，所述第一焊盘与所述金属互联结构暴露于所述衬底层的一端电性连接；第二焊盘层，包括多个第二焊盘，所述第二焊盘与所述金属互联结构暴露于所述固定梳齿层表面的一端电性连接。

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