恭喜杭州柯能新能源有限公司;杭州柯林电气股份有限公司赵福威获国家专利权
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龙图腾网恭喜杭州柯能新能源有限公司;杭州柯林电气股份有限公司申请的专利蒸镀设备的电极模块、蒸镀设备及蒸镀方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119351952B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411919073.0,技术领域涉及:C23C14/26;该发明授权蒸镀设备的电极模块、蒸镀设备及蒸镀方法是由赵福威;谢东;聂明军;梁素霞;宋友;俞永刚;沈晶设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本蒸镀设备的电极模块、蒸镀设备及蒸镀方法在说明书摘要公布了:本申请提供了一种蒸镀设备的电极模块、蒸镀设备及蒸镀方法,所述电极模块包括:第一电极杆,与蒸镀设备的一个电极底座电连接;第二电极杆,与蒸镀设备的另一个电极底座电连接,以及两个承载机构,分别设置于所述第一电极杆和所述第二电极杆,所述承载机构在所述第一电极杆和或所述第二电极杆上的高度可调;所述承载机构用于承载钼舟;该电极模块的电极杆具有刻度,能够在对钼舟进行更换时可以快速且精确地调节其所需要的高度,避免了在实际操作中,钼舟与待蒸镀靶材之间的距离与预设参数存在偏差进而对靶材表面成膜均匀性产生影响的问题。
本发明授权蒸镀设备的电极模块、蒸镀设备及蒸镀方法在权利要求书中公布了:1.一种蒸镀设备的电极模块,用于实现钙钛矿太阳能电池的薄膜蒸镀,其特征在于,所述电极模块(100)包括:第一电极杆(10),与蒸镀设备的一个电极底座(30)电连接;第二电极杆(20),与蒸镀设备的另一个电极底座(30)电连接,以及,两个承载机构(40),分别设置于所述第一电极杆(10)和所述第二电极杆(20),所述承载机构(40)在所述第一电极杆(10)和或所述第二电极杆(20)上的高度可调;所述承载机构(40)用于承载钼舟(50);其中,所述第一电极杆(10)和所述第二电极杆(20)均具有靠近所述电极底座(30)设置的第一部(10a、20a)和远离所述电极底座(30)设置的第二部(10b、20b);所述第一部(10a、20a)具有外螺纹,用于与所述电极底座(30)通过螺纹连接而实现电连接;所述第二部(10b、20b)具有刻度,用于显示和或标记所述承载机构(40)在所述第一电极杆(10)和或所述第二电极杆(20)固定时的位置;所述承载机构(40)包括:第二连接部件(44),套设于所述第一电极杆(10)和或所述第二电极杆(20);第二夹持部件(45),与所述第二连接部件(44)的一端固定连接,并用于夹持所述钼舟(50);以及,电控部件(46),设置于所述第二连接部件(44)的下方,用于电控制所述第二连接部件(44)在所述第一电极杆(10)和或所述第二电极杆(20)上的升降;所述电控部件(46)包括:电控环(46a),套设于所述第一电极杆(10)和或所述第二电极杆(20)的所述第二部(10b、20b);伸缩件(46b),受控于所述电控环(46a),沿所述第一电极杆(10)和或所述第二电极杆(20)的径向实现伸缩;当所述伸缩件(46b)伸张时,所述伸缩件(46b)夹紧所述第一电极杆(10)和或所述第二电极杆(20);当所述伸缩件(46b)收缩时,所述伸缩件(46b)相对于所述第一电极杆(10)和或所述第二电极杆(20)进行上下移动;以及,支撑件(46c),所述支撑件(46c)的一端与所述电控环(46a)连接,所述支撑件(46c)的另一端与所述第二连接部件(44)连接;所述第二夹持部件(45)的设置方式与第一夹持部件(42)的设置方式相同;所述第一夹持部件(42)包括:第一压片(42a)、第二压片(42b)、以及连接所述第一压片(42a)和所述第二压片(42b)的弹簧和定心销;所述第二压片(42b)与所述第一压片(42a)的接触部为具有预设面积的平面;所述第一压片(42a)具有设置于侧面的第三孔,所述第二压片(42b)具有设置于侧面的第四孔,所述定心销穿过所述弹簧、所述第三孔和所述第四孔。
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