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龙图腾网恭喜上海隐冠半导体技术有限公司申请的专利真空传输装置及气路控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119314925B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411860031.4，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权真空传输装置及气路控制方法是由田悦;陈啸虎;江旭初;陈守俊;吴火亮设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本真空传输装置及气路控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种真空传输装置及气路控制方法，真空传输装置包括：壳体，具有可呈真空状态的传输腔；驱动组件和第一磁性耦合件，均设置在传输腔的外部；驱动组件与第一磁性耦合件连接，以驱动第一磁性耦合件转动；第二磁性耦合件，设置在传输腔内；第二磁性耦合件与第一磁性耦合件相互耦合，以产生磁吸力，以使第一磁性耦合件带动第二磁性耦合件转动；传动组件，设置在传输腔内；传动组件与第二磁性耦合件传动连接并包括传动部，以当第二磁性耦合件转动时，驱使传动部沿预设直线方向运动；传动部用于与物料连接，以带动物料运动。这样，有利于保证传输腔的密封效果；同时，简化和减小了真空传输装置外部和内部的运动结构和运动空间。

本发明授权真空传输装置及气路控制方法在权利要求书中公布了：1.一种真空传输装置，其特征在于，包括：壳体，所述壳体内具有可呈真空状态的传输腔；驱动组件和第一磁性耦合件（11），均设置在所述传输腔的外部；所述驱动组件与所述第一磁性耦合件（11）连接，以驱动所述第一磁性耦合件（11）绕第一轴线转动；第二磁性耦合件（12），设置在所述传输腔内；所述第二磁性耦合件（12）与所述第一磁性耦合件（11）相互耦合，以产生磁吸力，以使所述第一磁性耦合件（11）带动所述第二磁性耦合件（12）绕第二轴线转动；所述第二轴线与所述第一轴线平行或重合；传动组件，设置在所述传输腔内；所述传动组件与所述第二磁性耦合件（12）传动连接并包括传动部（32），以当所述第二磁性耦合件（12）绕所述第二轴线转动时，驱使所述传动部（32）沿预设直线方向运动；所述预设直线方向与所述第二轴线平行或相同；所述传动部（32）用于与物料连接，以带动所述物料运动；其中，所述驱动组件包括转动部和固定件，所述转动部套设在所述第一磁性耦合件（11）的外周侧，所述固定件与所述壳体连接；所述真空传输装置还包括初级抽真空部件（61）和次级抽真空部件（62）；所述初级抽真空部件（61）的抽气口与所述传输腔连通；所述次级抽真空部件（62）的抽气口与所述传输腔可通断地设置，所述次级抽真空部件（62）的出气口可开闭地设置，以当所述传输腔破真空时，使所述次级抽真空部件（62）的抽气口与所述传输腔之间断开，所述次级抽真空部件（62）的出气口为闭合状态。

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