杭州长川科技股份有限公司区欢获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州长川科技股份有限公司申请的专利晶圆料盒获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222813560U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421350638.3，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型晶圆料盒是由区欢;刘远坤;王建玮;舒贻胜设计研发完成，并于2024-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆料盒在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆料盒，包括盒体和多个托盘。盒体形成有料腔以及供晶圆取放的开口。多个托盘沿晶圆料盒的高度方向依次间隔设置于料腔内。每一托盘包括底板，每相邻两个托盘的底板之间形成供晶圆存放的存放空间。其中，底板的上表面用于承托位于存放空间内的晶圆，且底板包括相连接的边缘支撑部和中间支撑部，边缘支撑部环绕中间支撑部连续设置，中间支撑部用于支撑晶圆的中部区域，边缘支撑部用于支撑晶圆的轮廓边缘。本申请的方案，无论晶圆处于何种翘曲形态，晶圆的最低点均能够形成所在存放空间的底板有效支撑，不会影响到下层存放空间内晶圆的存放。而且，还能够大大减少机械手撞片的概率。
本实用新型晶圆料盒在权利要求书中公布了：1.一种晶圆料盒，其特征在于，所述晶圆料盒包括：盒体10，形成有料腔Q以及供晶圆200取放的开口K；多个托盘20，沿所述晶圆料盒的高度方向Z依次间隔设置于所述料腔Q内，每一所述托盘20包括底板21，每相邻两个所述托盘20的所述底板21之间形成供晶圆200存放的存放空间F；其中，所述底板21的上表面用于承托位于所述存放空间F内的晶圆200，且所述底板21包括相连接的边缘支撑部21a和中间支撑部21b，所述边缘支撑部21a环绕所述中间支撑部21b连续设置，所述中间支撑部21b用于支撑晶圆200的中部区域，所述边缘支撑部21a用于支撑晶圆200的轮廓边缘。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州长川科技股份有限公司，其通讯地址为：310056 浙江省杭州市滨江区聚才路410号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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