上海新昇半导体科技有限公司;上海新昇晶科半导体科技有限公司刘思远获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新昇半导体科技有限公司;上海新昇晶科半导体科技有限公司申请的专利一种VI机台的传感器挡片结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222812750U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421107227.1,技术领域涉及:G01N21/01;该实用新型一种VI机台的传感器挡片结构是由刘思远设计研发完成,并于2024-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种VI机台的传感器挡片结构在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种VI机台的传感器挡片结构,包括:晶圆推杆以及挡片单元,所述晶圆推杆顶端设有与晶圆接触的接触部;所述挡片单元包括主体挡片以及与所述主体挡片相连接的长度控制机构,所述主体挡片固设于所述晶圆推杆上,所述长度控制机构远离与所述主体挡片连接的一端设有至少一凸出部。本实用新型的VI机台的传感器挡片结构可快速感应不同尺寸的所述晶圆的在籍状态,无需拆卸所述晶圆推杆或移动所述传感器的位置,避免了长时间调整所述传感器甚至调整后仍无法检测的状况,实现了视觉检测机台不同检测任务的快速切换,提升了检测效率。
本实用新型一种VI机台的传感器挡片结构在权利要求书中公布了:1.一种VI机台的传感器挡片结构,其特征在于,包括:晶圆推杆,顶端设有与晶圆接触的接触部;挡片单元,包括主体挡片以及与所述主体挡片相连接的长度控制机构,所述主体挡片固设于所述晶圆推杆上,所述长度控制机构远离与所述主体挡片连接的一端设有至少一凸出部。
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