光驰股份有限公司黄新伟获国家专利权
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龙图腾网获悉光驰股份有限公司申请的专利蒸镀装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118792617B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410451616.4，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权蒸镀装置是由黄新伟;吴博寻设计研发完成，并于2024-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本蒸镀装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种蒸镀装置，能在增加基板保持器的基板搭载数量的同时提高蒸镀速度，能实现更高的生产率，并且能在确保膜厚的均匀性的同时实现成膜速度高的成膜处理。蒸镀装置具有：真空室，其内部能减压至规定的压力；一个圆形的基板保持器，旋转自如地设于真空室内；多个基板，保持于基板保持器的下表面；以及多个真空蒸镀源，喷出蒸镀材料的蒸气，基板保持器设为以基板的膜形成面朝向真空蒸镀源的喷出蒸镀材料的蒸气的方向的方式保持多个基板，基板保持器采用如下构成：以多个基板与真空蒸镀源的距离和角度相对于各个真空蒸镀源成为最佳的方式保持基板。
本发明授权蒸镀装置在权利要求书中公布了：1.一种蒸镀装置，其特征在于，具有：真空室，内部能减压至规定的压力；一个圆形的基板保持器，旋转自如地设于所述真空室内；多个基板，保持于所述基板保持器的下表面；以及多个真空蒸镀源，喷出蒸镀材料的蒸气，所述基板保持器设为以所述基板的膜形成面朝向所述真空蒸镀源的喷出蒸镀材料的蒸气的方向的方式保持所述多个基板，所述基板保持器以使所述多个基板与所述真空蒸镀源的距离和角度相对于各个所述真空蒸镀源成为最佳的方式保持所述基板，在所述基板保持器以单独载置各个所述多个基板的方式设有独立的多个基板载置部，各个所述基板载置部的高度和下表面的倾斜度不同，以使所述多个基板与所述真空蒸镀源的距离和角度成为最佳，所述真空蒸镀源包括第一真空蒸镀源和第二真空蒸镀源，考虑到所述蒸镀材料的蒸气的飞翔分布，所述基板载置部的高度和下表面的倾斜度形成得不同，以使在截面上从所述第一真空蒸镀源和所述第二真空蒸镀源分别到各所述基板的距离和角度相同。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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