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恭喜胜高股份有限公司高梨启一获国家专利权

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龙图腾网恭喜胜高股份有限公司申请的专利用于制造无缺陷单晶硅晶体的方法和设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114318511B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111152966.3,技术领域涉及:C30B15/22;该发明授权用于制造无缺陷单晶硅晶体的方法和设备是由高梨启一;下崎一平设计研发完成,并于2021-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

用于制造无缺陷单晶硅晶体的方法和设备在说明书摘要公布了:本发明涉及用于制造无缺陷单晶硅晶体的方法和设备。一种晶体提拉机设备包括提拉组件,其用以以提拉速度从硅熔体提拉晶体;坩埚,其装纳硅熔体;在硅熔体的表面上方的热屏蔽件;升降器,其用以改变热屏蔽件和硅熔体的表面之间的间隙;以及一个或多个计算装置,其用以响应于提拉速度的变化在晶体的给定长度下使用Pv‑Pi容限来确定对间隙的调节。由计算装置进行的计算机实施的方法包括确定提拉速度命令信号以控制晶体的直径;确定升降器命令信号以控制热屏蔽件和从其生长晶体的硅熔体的表面之间的间隙;以及响应于不同的提拉速度使用Pv‑Pi容限来确定对间隙的调节。

本发明授权用于制造无缺陷单晶硅晶体的方法和设备在权利要求书中公布了:1.一种晶体提拉机设备,包括:提拉组件,其用以以提拉速度从硅熔体提拉晶体;坩埚,其装纳所述硅熔体;在所述硅熔体的表面上方的热屏蔽件;升降器,其用以改变所述热屏蔽件和所述硅熔体的表面之间的间隙;以及一个或多个计算装置,其通过将晶体的所测量的直径与期望的直径相比较来计算直径差,基于所述直径差来改变所述提拉速度,以及响应于所述提拉速度的变化使用Pv-Pi容限来进一步调节所述间隙。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人胜高股份有限公司,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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