恭喜迪思科高科技(欧洲)有限公司;株式会社高鸟卡尔·H·皮拉瓦瑟获国家专利权
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龙图腾网恭喜迪思科高科技(欧洲)有限公司;株式会社高鸟申请的专利对准装置和对准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112020769B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201880092687.2，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权对准装置和对准方法是由卡尔·H·皮拉瓦瑟;播冈好之;池端谦;柿沼良典;石松阳介;泽山良太设计研发完成，并于2018-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本对准装置和对准方法在说明书摘要公布了：本发明的目的是将具有保护层的保护胶带以高精度对准。当将保护胶带PT贴附至半导体晶片W时所使用的该对准装置5设置有：胶带保持体30，该胶带保持体30保持保护胶带PT，在保护胶带PT中层压有保护层PL，该保护层PL具有比保护胶带PT的外径小的外径；以及图像捕获装置50，该图像捕获装置50对保护层PL的外周部分中的多个地方的图像进行捕获，其中，保护层PL的外周部分中的所述多个地方的位置信息从通过由图像捕获装置50捕获图像而获得的图像数据获得，并且保护层PL的中心位置从位置信息中的每个位置信息获得。
本发明授权对准装置和对准方法在权利要求书中公布了：1.一种用于将保护胶带施加至半导体晶片的对准装置，所述对准装置包括：旋转台，所述旋转台构造成支承所述半导体晶片并使所述半导体晶片旋转；照射装置，所述照射装置用于利用红光从所述半导体晶片的一个表面侧对所述半导体晶片进行照射，所述照射装置具有形成为比所述半导体晶片的外形大的外形并且构造成以环形形状发射红光；以及图像拾取装置，所述图像拾取装置用于在所述半导体晶片的另一表面侧整体地对所述半导体晶片进行成像，其中，所述对准装置构造成：通过基于由所述图像拾取装置对所述红光的接收状态检测所述半导体晶片的外周边缘部分来确定所述半导体晶片的中心位置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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