甬矽半导体(宁波)有限公司高滢滢获国家专利权
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龙图腾网获悉甬矽半导体(宁波)有限公司申请的专利基板加热组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222839837U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421379744.4，技术领域涉及：H05B3/20；该实用新型基板加热组件是由高滢滢;张超;李奎奎;易俊设计研发完成，并于2024-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板加热组件在说明书摘要公布了：本申请公开了一种基板加热组件，涉及半导体加工设备技术领域。基板加热组件包括加热模块，加热模块包括沿第一方向排布的N个加热单元，N个加热单元排布形成的队列具有头端和尾端，最靠近头端的M个加热单元的额定加热功率在从头端向尾端的方向上依次提高，其中，N≥2，2≤M≤N。在加热基板时，可以令基板上需要被加热的区域从头端的第一个加热单元开始，依次经过各个加热单元。因此基板会从低温到高温逐渐被加热，降低了直接使用过高温度加热基板导致基板因高低温应力而损坏的风险。
本实用新型基板加热组件在权利要求书中公布了：1.一种基板加热组件，其特征在于，包括加热模块，所述加热模块包括沿第一方向排布的N个加热单元，所述N个加热单元排布形成的队列具有头端和尾端，最靠近所述头端的M个所述加热单元的额定加热功率在从所述头端向所述尾端的方向上依次提高，其中，N≥2，2≤M≤N。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人甬矽半导体(宁波)有限公司，其通讯地址为：315400 浙江省宁波市余姚市中意宁波生态园滨海大道60号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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