无锡琨圣芯成科技有限公司李鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡琨圣芯成科技有限公司申请的专利一种晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222838801U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421371018.8，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆清洗装置是由李鹏;邵玉林;王佳伟;曹刚设计研发完成，并于2024-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括：基架、传输结构和清洗结构；所述基架上设有一个上下料区；所述传输结构包括第一传输件，所述第一传输件设置在所述基架上，所述第一传输件用于转移装载有晶圆的晶圆载具；所述清洗结构环绕所述第一传输件设置在所述基架上，所述清洗结构包括工艺槽体和清洗槽体，所述工艺槽体和所述清洗槽体可拆卸地安装在所述基架上；所述基架的侧边沿着其延伸方向开设具有开口的容置空间，所述工艺槽体安装在所述容置空间内。此结构占地面积更小，布局更加紧凑，且可实现工艺配方的多样性及工艺槽体的自由更换。
本实用新型一种晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括：基架1，所述基架1上设有一个上下料区；传输结构3，所述传输结构3包括第一传输件31，所述第一传输件31设置在所述基架1上，所述第一传输件31用于转移装载有晶圆的晶圆载具；清洗结构4，所述清洗结构4环绕所述第一传输件31设置在所述基架1上，所述清洗结构4包括工艺槽体41和清洗槽体42，所述工艺槽体41和所述清洗槽体42可拆卸地安装在所述基架1上；其中，所述基架1的侧边沿着其延伸方向开设具有开口的容置空间，所述工艺槽体41安装在所述容置空间内。
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