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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种定位治具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222838826U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421308121.8，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种定位治具是由王滔;周铁军;毕宏岩设计研发完成，并于2024-06-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种定位治具在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体生产技术领域，公开了一种定位治具，包括基座、多个限位件和锁止组件；所述限位件包括连接柱、限位柱和挡块，所述连接柱连接于所述基座上，所述限位柱固定连接于所述连接柱，所述挡块具有相对的第一端和第二端，所述第一端固定连接于所述限位柱，所述连接柱绕转动能够驱动所述第二端在第一位置和第二位置之间进行移动；所述锁止组件分别连接所述限位件和所述基座，所述锁止组件能够锁定所述限位件，以将所述第二端锁定在所述第一位置；本实用新型实施例所提供的定位治具通过挡块和锁止组件，能够防止衬底沿限位柱向远离基座的方向脱离定位治具，提高衬底在定位治具的安装稳定性。

本实用新型一种定位治具在权利要求书中公布了：1.一种定位治具，具有第一方向Z，其特征在于，包括：基座1，所述基座1具有基准线110；多个限位件2，多个所述限位件2环绕所述基准线110分布，所述限位件2包括连接柱21、限位柱22和挡块23，所述连接柱21具有第一轴线10，所述连接柱21连接于所述基座1上并能够绕所述第一轴线10转动，所述限位柱22固定连接于所述连接柱21在所述第一方向Z上远离所述基座1的一端，所述挡块23具有相对的第一端231和第二端232，所述第一端231固定连接于所述限位柱22在所述第一方向Z上远离所述连接柱21的一端，所述连接柱21绕所述第一轴线10转动能够驱动所述第二端232在第一位置和第二位置之间进行移动；锁止组件3，所述锁止组件3分别连接所述限位件2和所述基座1，所述锁止组件3能够锁定所述限位件2，以将所述第二端232锁定在所述第一位置；其中，多个所述限位柱22之间限定出安装空间220，所述第一方向Z和第一平面垂直；所述第二端232置于第一位置时，沿所述第一方向Z，所述第二端232在所述第一平面上的正投影位于所述安装空间220在所述第一平面的范围之内；所述第二端232置于所述第二位置时，所述第二端232在所述第一平面上的正投影位于所述安装空间220在所述第一平面的范围之外。

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