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矽电半导体设备(深圳)股份有限公司沈杰获国家专利权

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龙图腾网获悉矽电半导体设备(深圳)股份有限公司申请的专利测试设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222838150U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421158629.4,技术领域涉及:G01R31/26;该实用新型测试设备是由沈杰设计研发完成,并于2024-05-24向国家知识产权局提交的专利申请。

测试设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种测试设备,包括:上下料装置、转移装置和检测装置,上下料装置包括能够在移动平面内移动的平面移动件、连接于平面移动件并能够绕第一方向的轴线自转的旋转件以及连接于旋转件的固定组件,第一方向垂直于移动平面,固定组件用于固定料盘,料盘具有用于放置晶粒的放置面,放置面平行于移动平面;转移装置具有用于固定并转移晶粒的转移部件;检测装置用于检测转移部件的第一实际姿态,以及放置面的晶粒的第二实际姿态,和或,用于检测转移部件固定的晶粒的第三实际姿态,以及放置面的晶粒放置位的第四实际姿态。测试设备能够提高生产效率,简化设备并降低成本,本实用新型应用于芯片光电参数测试设备领域。

本实用新型测试设备在权利要求书中公布了:1.一种测试设备,其特征在于,包括:上下料装置,包括能够在移动平面内移动的平面移动件、连接于所述平面移动件并能够绕第一方向的轴线自转的旋转件以及连接于所述旋转件的固定组件,所述第一方向垂直于所述移动平面,所述固定组件用于固定料盘,所述料盘具有用于放置晶粒的放置面,所述放置面平行于所述移动平面;转移装置,具有用于固定并转移晶粒的转移部件;检测装置,用于检测所述转移部件的第一实际姿态,以及所述放置面的晶粒的第二实际姿态,和或,用于检测所述转移部件固定的晶粒的第三实际姿态,以及所述放置面的晶粒放置位的第四实际姿态;其中,所述固定组件被配置为:在晶粒上料时,当所述检测装置检测到所述第一实际姿态与所述第二实际姿态时,根据所述第一实际姿态和所述第二实际姿态,被所述旋转件和所述平面移动件驱动,以调节所述第二实际姿态对齐于所述第一实际姿态;和或,在晶粒下料时,当所述检测装置检测到所述第三实际姿态与所述第四实际姿态时,根据所述第三实际姿态和所述第四实际姿态,被所述旋转件和所述平面移动件驱动,以调节所述第四实际姿态对齐于所述第三实际姿态。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人矽电半导体设备(深圳)股份有限公司,其通讯地址为:518172 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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