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龙图腾网恭喜江苏纳沛斯半导体有限公司申请的专利一种半导体晶圆边缘检查装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222838010U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421025994.8，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型一种半导体晶圆边缘检查装置是由丁超;陈宝康;张雄稚设计研发完成，并于2024-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体晶圆边缘检查装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体晶圆边缘检查装置，包括支撑底座和支撑脚，所述支撑底座的上方设置有定位锁定机构，所述转动调节机构的侧边设置有观测调节机构，所述观测调节机构的侧边设置有观测位移机构，本实用新型导体晶圆边缘检查装置在使用时，该装置通过定位电机、驱动齿轮、从动齿轮、支撑框、检查器和限位螺栓的设置，使得该装置可实现全方位调整检查器观测位置的效果，进而改变了现有装置固定位置观测视野局限性较小的问题缺陷，同时对于异形晶圆，该装置可以做到灵活调整观测位置从而避免了手动反复调整晶圆造成观测过程繁琐的问题，同时避免了手动调节晶圆本体位置造成晶圆意外磕碰的现象发生。

本实用新型一种半导体晶圆边缘检查装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆边缘检查装置，包括支撑底座（1）和支撑脚（2），其特征在于：所述支撑底座（1）的底端外壁对称设置有两组支撑脚（2），所述支撑底座（1）的上方设置有定位锁定机构，所述定位锁定机构的侧边设置有转动调节机构，所述转动调节机构的侧边设置有观测调节机构，所述观测调节机构的侧边设置有观测位移机构；所述定位锁定机构包括限位架（3）、驱动电机（4）、往复丝杆（5）和辅助杆（6），所述支撑底座（1）的顶端外壁设置有限位架（3），所述限位架（3）设置为“U”形结构，所述限位架（3）的顶端外壁设置有驱动电机（4），所述驱动电机（4）与往复丝杆（5）的一端相连接，所述往复丝杆（5）的底端设置有辅助杆（6），所述辅助杆（6）的底端与支撑底座（1）的顶端外壁转动连接；所述往复丝杆（5）的外部设置有限位块（7），所述限位块（7）的侧边外壁对称设置有凸块（8），所述凸块（8）与限位架（3）的侧边内壁滑动连接，所述限位块（7）的侧边外壁设置有定位板（9），所述定位板（9）的侧边外壁设置有环形调节座（10）；所述转动调节机构包括限位环（11）、转动件（12）和定位支撑柱（13），所述环形调节座（10）的内部开设有环形槽，且环形槽的内部转动连接有限位环（11），所述限位环（11）的顶端外壁设置有转动件（12），且转动件（12）的转动端设置在环形调节座（10）的外部，所述限位环（11）的底端外壁设置有定位支撑柱（13）；所述观测调节机构包括安装基座（17）、定位架（18）、定位电机（19）和驱动齿轮（20），所述支撑底座（1）的顶端外壁滑动连接有安装基座（17），所述安装基座（17）的顶端外壁设置有定位架（18），所述定位架（18）设置为“Z”字形，且定位架（18）的顶端外壁设置有定位电机（19），所述定位电机（19）与转动轴相连接，且转动轴的底端与驱动齿轮（20）相连接；所述观测位移机构包括滑动槽（25）和滑动块（26），所述支撑底座（1）位于安装基座（17）的顶端外壁开设有滑动槽（25），所述滑动槽（25）的内部滑动连接有滑动块（26），且滑动块（26）的顶端外壁与安装基座（17）的底端外壁相连接。

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